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深圳市中圖儀器股份有限公司

5
  • 2018

    08-21

    點(diǎn)石成金||中圖儀器光學(xué)3D表面輪廓儀助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)大發(fā)展

    引言:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是一個(gè)點(diǎn)石成金的行業(yè),將從普通的石英砂中提取的硅原料制成擁有現(xiàn)代工業(yè)系統(tǒng)“心臟”之稱的IC芯片,中間須歷經(jīng)數(shù)十上百道工序,從硅晶圓的制備到晶圓IC的制造,每一步都對(duì)工藝流程的質(zhì)量有著嚴(yán)格的管控要求,由各式各樣的檢測(cè)儀器共同組成了產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)控的守門員,而在這之中,作為產(chǎn)品表面質(zhì)量檢測(cè)儀器的光學(xué)3D表面輪廓儀,以其超高的檢測(cè)精度和重復(fù)性,發(fā)揮著重要的作用。中圖儀器SuperViewW1光學(xué)3D表面輪廓儀,是一款于超精密加工領(lǐng)域的光學(xué)檢測(cè)儀器,其分辨率可達(dá)0.1nm。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為超精
  • 2018

    08-21

    三維表面粗糙度參數(shù)Sa的前世今生

    傳統(tǒng)的粗糙度評(píng)定為二維參數(shù)評(píng)定,評(píng)定的時(shí)候在一條線上進(jìn)行評(píng)定,不能夠完整地反映整個(gè)表面的全部信息,越來越不能滿足加工行業(yè)的發(fā)展需要。表面形貌的三維評(píng)定方法是利用區(qū)域表面獲得所需要的相關(guān)信息,給出表面形成機(jī)理信息和研究表面的直觀圖像,三維評(píng)定從整體上對(duì)零件表面特征進(jìn)行描述,具有全局性。三維表面粗糙度參數(shù)有很多,今天介紹個(gè)參數(shù)Sa。定義:Sa為表面算術(shù)平均高度,指輪廓表面內(nèi)的點(diǎn)與中心面距離的算術(shù)平均或幾何平均值,在取樣區(qū)域D上,被測(cè)量的輪廓面和建立的基準(zhǔn)面之間的z坐標(biāo)距離的算術(shù)平均,即表面粗糙度曲面
  • 2018

    08-21

    SJ6000激光干涉儀在手,激光切割機(jī)精度檢測(cè)不愁!

    激光切割機(jī)可對(duì)多種金屬或非金屬零部件等小型工件進(jìn)行精密切割或微孔加工,具有切割精度高、速度快、熱影響小等優(yōu)點(diǎn)。別是對(duì)于高硬度、高脆性及高熔點(diǎn)的各種材料精細(xì)加工,激光切割相較于傳統(tǒng)接觸式切削加工具有突出的優(yōu)勢(shì)。如今3C電子行業(yè)發(fā)展迅猛,激光切割發(fā)展?jié)摿薮螅?C電子產(chǎn)品上常見的激光切割工藝有藍(lán)寶石玻璃手機(jī)屏幕激光切割、攝像頭保護(hù)鏡片激光切割、手機(jī)Home鍵激光切割、FPC柔性電路板激光切割、手機(jī)聽筒網(wǎng)激光打孔等等。由于3C電子行業(yè)對(duì)加工精度要求很高,那么激光切割機(jī)的定位精度和重復(fù)定位精度必須滿足要
  • 2017

    12-07

    中圖儀器光學(xué)輪廓儀帶你領(lǐng)略3D “新視界”

    在半導(dǎo)體、超精密加工及微納材料等領(lǐng)域,器件的表面質(zhì)量直接關(guān)系著后期的產(chǎn)品質(zhì)量和研究成果,中圖儀器SuperViewW1系列光學(xué)3D表面輪廓儀,是一款分辨率達(dá)到亞納米級(jí)別的光學(xué)檢測(cè)儀器,助您輕松實(shí)現(xiàn)2D/3D表面粗糙度、輪廓測(cè)量,超高精度,“納”么簡(jiǎn)單。——3D測(cè)量,一覽無余——采用白光干涉技術(shù),結(jié)合具有優(yōu)異抗噪性能的3D重建算法,真實(shí)還原樣品的每一個(gè)細(xì)節(jié),隨意翻轉(zhuǎn)縮放,助您輕松觀察、測(cè)量樣品的任意特征。——功能強(qiáng)大,參數(shù)齊全——粗糙度、平面度、孔洞分析、頂點(diǎn)分析等3D測(cè)量功能全部囊括,距離、角度
  • 2017

    12-07

    SJ5701粗糙度輪廓測(cè)量?jī)x在手,模具測(cè)量不愁

    模具被稱為“工業(yè)之母”,主要用于、大批量生產(chǎn)工業(yè)產(chǎn)品中的有關(guān)零部件。隨著現(xiàn)代化工業(yè)的發(fā)展,模具已廣泛應(yīng)用于汽車、家電、消費(fèi)電子、儀器儀表、航空航天和醫(yī)療器械等產(chǎn)品,其中約60%-80%的零部件產(chǎn)品需要依靠模具加工成型。模具的核心部位是模芯,模芯形狀多為曲面,其輪廓、粗糙度、尺寸精度等對(duì)于zui終零件尺寸、光潔度、甚至注塑成型工藝等都有重要影響,因此對(duì)模具進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量非常重要。測(cè)量模芯曲面,、zui有效的方式就就是采用粗糙度輪廓測(cè)量?jī)x,中圖儀器自主研發(fā)的SJ5701粗糙度輪廓測(cè)量?jī)x在模具中有著廣泛
  • 2017

    06-28

    激光干涉儀你用對(duì)了嗎?

    激光干涉儀是精度zui高的線性位移測(cè)量?jī)x器,其光波可以直接對(duì)米進(jìn)行定義,可溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)。但是我們?cè)谑褂弥型鶗?huì)出現(xiàn)檢測(cè)偏離值,偏離我們的預(yù)估,以至于在高精度檢測(cè)時(shí),對(duì)設(shè)備產(chǎn)生懷疑。今天我們來扒一扒引起激光干涉儀測(cè)量誤差的部分原因。1、阿貝誤差因測(cè)量光學(xué)鏡組的安裝高度不在被測(cè)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)軸上引起的測(cè)量誤差稱之為阿貝誤差。產(chǎn)生的原因是設(shè)備移動(dòng)時(shí)存在俯仰、扭擺差,因此光學(xué)鏡組與運(yùn)動(dòng)軸偏置距離越遠(yuǎn),引起的阿貝誤差越大。角度、偏置距離引起的誤差表(單位:um)角度(″)偏置距離(mm)5105010050
  • 2017

    03-16

    淺析使用SJ5100高精度光柵測(cè)長(zhǎng)機(jī)測(cè)量錐螺紋量規(guī)基準(zhǔn)面中徑

    前言:如何在測(cè)長(zhǎng)機(jī)上非常準(zhǔn)確地進(jìn)行錐螺紋量規(guī)的基準(zhǔn)面中徑測(cè)量,是目前國內(nèi)外測(cè)長(zhǎng)機(jī)的一道難題,中圖儀器SJ5100高精度光柵測(cè)長(zhǎng)機(jī)針對(duì)此應(yīng)用進(jìn)行了*設(shè)計(jì)及算法優(yōu)化,較好地解決了這個(gè)難題。錐螺紋基準(zhǔn)面中徑測(cè)量錐螺紋基準(zhǔn)面中徑是所有錐螺紋量規(guī)zui重要的一項(xiàng)參數(shù),在未出現(xiàn)螺紋綜合測(cè)量?jī)x之前,所有錐螺紋量規(guī)均采用此項(xiàng)參數(shù)作為是否合格的評(píng)判指標(biāo)。傳統(tǒng)測(cè)量錐螺紋基準(zhǔn)面中徑主要采用三針法,如下圖:傳統(tǒng)方法測(cè)量錐螺紋基準(zhǔn)面中徑的缺點(diǎn)是在測(cè)量時(shí)只能估算基面距-所測(cè)截面到基準(zhǔn)面之間的距離,那么得到的基準(zhǔn)面中徑只能是
  • 2016

    12-08

    中圖儀器SJ6000激光干涉儀在高精密直驅(qū)平臺(tái)上的應(yīng)用

    高精密直驅(qū)平臺(tái)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)、微電子組件測(cè)試取放、DNA測(cè)序、激光加工等領(lǐng)域,定位精度要求高,線性位移100mm行程范圍內(nèi)定位誤差要求≤1μm。人類頭發(fā)直徑約70μm,就是要比人類頭發(fā)直徑的70分之1還要小,如此高定位精度的平臺(tái)測(cè)量和校準(zhǔn)普通檢測(cè)設(shè)備根本無法做到。中圖儀器SJ6000激光干涉儀為客戶直驅(qū)平臺(tái)定位精度的測(cè)量和驗(yàn)證提供了良好的解決方案,精度達(dá)到納米級(jí),在穩(wěn)定的實(shí)驗(yàn)條件下滿足了客戶測(cè)量和校準(zhǔn)的要求,提高了客戶產(chǎn)品的質(zhì)量和檢測(cè)效率,取得了不錯(cuò)的市場(chǎng)反響。測(cè)量時(shí),根據(jù)直驅(qū)平臺(tái)移動(dòng)
  • 2016

    08-11

    壓力校驗(yàn)多面手

    壓力類儀表是常見的計(jì)量器具,廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域。它監(jiān)視生產(chǎn)運(yùn)行過程中的安全動(dòng)向,并通過自動(dòng)連鎖或傳感裝置,構(gòu)筑了一道迅速可靠的安全保障,為防范事故、保障人身和財(cái)產(chǎn)安全發(fā)揮了重要作用,被稱作安全的"眼睛"。壓力類儀表因其重要性,必須定期對(duì)其進(jìn)行檢定。壓力類儀表種類繁多,那么對(duì)其檢定裝置介質(zhì)要求也各不相同,常用的有液體、氣體兩種,有的檢定甚至需要真空、電測(cè)量等。如果每種壓力儀表配一種檢定裝置,不經(jīng)濟(jì)而且效率很低,那么有沒有一種通用型的一體機(jī)能夠滿足大多數(shù)壓力類儀表檢定?有,它就是中圖儀器ZT5810
  • 2016

    07-20

    測(cè)長(zhǎng)機(jī)檢測(cè)塞規(guī)的方法

    SJ5100測(cè)長(zhǎng)機(jī)是一種通用長(zhǎng)度計(jì)量?jī)x器,既可以檢定螺紋/光面量規(guī)、量塊、外徑千分尺、針規(guī)、指示表等各種量具又可以測(cè)量齒輪、花鍵、校對(duì)棒等精密工件,因此又被稱之為“測(cè)長(zhǎng)機(jī)”。測(cè)長(zhǎng)機(jī)檢測(cè)塞規(guī)的方法1)使用以下附件:—1套測(cè)桿加高塊SR-H65.1—1套Φ6.5測(cè)帽夾套SR-H6.5和硬質(zhì)合金球測(cè)頭SRH-6.5_6.5(φ6.5mm)—1個(gè)五軸工作臺(tái)ST-30.1或ST-15.1—1個(gè)帶定位中心的浮動(dòng)測(cè)量平臺(tái)SF-P60.1或SF-PT60.12)浮動(dòng)測(cè)量平臺(tái)SF-PT60.1的性能:—固定在測(cè)量
  • 2016

    07-20

    輪廓測(cè)量?jī)x原理及應(yīng)用

    SJ5700輪廓測(cè)量?jī)x具有精度高、使用方便、功能強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),能夠?qū)Ω鞣N工件輪廓進(jìn)行長(zhǎng)度、高度、間距、水平距離、垂直距離、角度、圓弧半徑等幾何參數(shù)測(cè)量。輪廓測(cè)量?jī)x原理:輪廓測(cè)量?jī)x是一種兩坐標(biāo)測(cè)量?jī)x器,儀器傳感器相對(duì)被測(cè)工件表而作勻速滑行,傳感器的觸針感受到被測(cè)表而的幾何變化,在X和Z方向分別采樣,并轉(zhuǎn)換成電信號(hào),該電信號(hào)經(jīng)放大和處理,再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)儲(chǔ)存在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中,計(jì)算機(jī)對(duì)原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波,分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計(jì)算,測(cè)量結(jié)果為計(jì)算出的符介某種曲線的實(shí)際值及其離基準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo)
  • 2016

    07-20

    激光干涉儀工作原理

    SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、zui高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。在相關(guān)軟件的配合下,還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè),可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析,滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析,驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等,具有*的精度和效率,為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。激光干涉儀工作原理如下:激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡
  • 2015

    12-16

    指示表檢定儀使用前必須考慮的細(xì)節(jié)因素-溫度

    (1)指示表檢定儀在使用前,環(huán)境溫度應(yīng)盡量接近標(biāo)準(zhǔn)溫度(20℃)時(shí)進(jìn)行測(cè)量。在實(shí)際工作中,實(shí)驗(yàn)室應(yīng)有很好的保溫、恒溫措施,在指示表檢定儀進(jìn)行檢定時(shí),要盡量保持環(huán)境的溫度與檢定規(guī)程中所要求的溫度(一般為(20±2)℃)相一致。另外,電氣設(shè)備、計(jì)算機(jī)、人員都是熱源,在設(shè)備安裝時(shí)要做好規(guī)劃,使電氣設(shè)備、計(jì)算機(jī)等與測(cè)量?jī)x器有一定的距離。(2)減少空調(diào)安裝對(duì)指示表檢定儀測(cè)量結(jié)果的影響。要保溫、恒溫,實(shí)驗(yàn)室就必須安裝空調(diào),由于變頻空調(diào)節(jié)能性能好、控溫能力強(qiáng)(正常可控在±1℃內(nèi)),所以盡量選擇變頻空調(diào)。另外,
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