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激光干涉儀工作原理

來源:深圳市中圖儀器股份有限公司   2016年07月20日 17:55  

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、zui高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合,可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下,還可以對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動態(tài)性能檢測,可以進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析,滾珠絲桿的動態(tài)特性分析,驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等,具有*的精度和效率,為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。

激光干涉儀工作原理如下:

激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡然后分成兩道光束一道光束( 參考光束) 射向連接分光鏡的反射鏡而第二道透射光束( 測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡這兩道光束再反射回到分光鏡重新匯聚之后返回激光器其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉( 見圖1) 若光程差沒有變化時探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號若光程差有變化時探測器會在每一次光程變化時在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。

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