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Map薄膜厚度測繪儀

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更新時間:2021-10-27 08:17:17瀏覽次數:138次

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產品簡介

Map薄膜厚度測繪儀

詳細介紹



大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被測量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導體(硅,單晶硅,多晶硅),半導體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂層(碳化硅,類金剛石炭),聚合物涂層(聚對二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

Map薄膜厚度測繪儀用于測量厚度分布,評價薄膜厚度的均一性,可與所有MProble系列的薄膜測厚儀聯用。

厚度測繪臺包含:

1. XY電動載物臺,行程:150mm/200mm/300mm

2. 19英寸鋁制底座

3. 探頭適配器

4. 載物臺控制器

5. 厚度拼圖軟件


可選硬件模塊:
150XYM 6英寸(150X150mm)行程電動載物臺
200XYM 8英寸(200X200mm)行程電動載物臺
300XYM 12英寸(300X300mm)行程電動載物臺
VAC 真空吸附器
TR 透射率測量模塊


電動載物臺參數:

位移精度 小于2um
分辨率 小于0.5um
驅動器 步進馬達
通訊 USB接口
尺寸 19X19x10英寸(6和8英寸行程)
重量 12kg


薄膜厚度分布圖(厚度以顏色標示):

Map薄膜厚度測繪儀


厚度測繪軟件:

Map薄膜厚度測繪儀


我們樂意為您進行免費樣品測量,歡迎。

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關鍵詞:測厚儀
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