上海全耀儀器設(shè)備有限公司
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更新時間：2021-10-27 08:09:10瀏覽次數(shù)：199次
聯(lián)系我時，請告知來自 儀表網(wǎng)MProbe RT薄膜測厚儀
該機大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測量。比如：氧化物，氮化物，光刻膠，高分子聚合物，半導(dǎo)體(硅，單晶硅，多晶硅)，半導(dǎo)體化合物(AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS)，硬涂層(碳化硅，類金剛石炭)，聚合物涂層(聚對二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺)
測量范圍: 1 nm -20um(UVVis)，1nm-150um(UVVisNIR)
波長范圍: 200 nm -1000 nm(UVVis)
200nm-1700nm(UVVisNIR)
適用于實時在線測量，多層測量，非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料)，新材料可以很容易的添加，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等；
藍寶石基底上1025nm厚度的氧化物薄膜的反射率和透射率，波長范圍(200-1700nm)：
系統(tǒng)性能參數(shù)：
| 精度 | <0.1nm or 0.01% |
| 準確度 | <0.2% or 1 nm |
| 穩(wěn)定性 | <0.05nm or 0.03% |
| 光斑直徑 | 標(biāo)準2mm, 可以小至3um |
| 樣品大小 | 大于1 mm |
測量指標(biāo)：薄膜厚度，光學(xué)常數(shù)
界面友好強大: 一鍵式測量和分析。
實用的工具：曲線擬合和靈敏度分析，背景和變形校正，連接層和材料，多樣品測量，動態(tài)測量和產(chǎn)線批量處理。
技術(shù)參數(shù)：
| 測量范圍 | 1nm-50um 或1nm-150um |
| 精度 | <0.1nm or 0.01% |
| 準確度 | <0.2% or 1 nm |
| 穩(wěn)定性 | <0.05nm or 0.03% |
| 波長范圍 | 200-1000nm 或 200-1700nm |
| 光譜儀和檢測器 | F4光譜儀，3600像素CCD檢測器，16位深 |
| F3光譜儀，512像素InGaAs 檢測器 | |
| 光譜分辨率 | 2nm（UVVis），4nm（NIR） |
| 光源 | 20W鹵鎢燈（添加氙），色溫3100，壽命：2000小時 |
（內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖）
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