說明
TTR 200 N THERMOVAC 系列真空變送器可提供從 5×10-5 毫巴至 1500 毫巴的較大測量范圍，基于對 MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導性和壓電傳感器中硅膜的機械偏轉的測量結果。
變送器配備 RS232 數字通信接口，可設定變送器參數并提供實時壓力測量。更多詳情，請參閱通信協議 300544663 (RS232)。
每臺變送器在出廠前已逐臺進行全量程測試。測試報告隨附在包裝中。此外，每個變送器壓力讀數均在操作溫度范圍內逐一得到溫度補償。
變送器擁有三個機械繼電器，這些繼電器可用于過程控制，例如閥或泵的聯鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設備，用于獲取壓力讀數，或進行壓力控制。
傳感器技術
變送器含有兩個獨立的傳感器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機械系統)) 傳感器元件基于熱傳導性的測量結果。MEMS Pirani 傳感器包含一個帶有熱電阻元件的硅芯片，其構成空腔的一個表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀，空腔內無法進行對流，因此，傳感器對安裝位置并不敏感。通過擴散，氣體分子只到達熱元件，在此處可測量氣體的熱損耗。
壓電傳感器基于對硅膜機械偏轉的測量。硅膜的一側暴露于環境壓力，另一側暴露于真空。
壓電傳感器可測量無關于氣體成分和濃度的真實差壓。
這兩個傳感器元件都極為堅固耐用，可承受較高重力和瞬間空氣涌入。
變送器可用于眾多不同領域的真空應用中，如：工業應用、研發、半導體、分析和涂料工業中:
· 真空鎖壓力控制
· 一般真空壓力測量
· 前級管道和粗抽壓力測量
· 氣體回填測量和控制
· 質譜儀控制
· 啟動超高真空電離 (UHV) 規
· 系統過程控制
· 檢測異常壓力，利用設定點繼電器采取妥當的安全措施
· 控制系統壓力
應用
差分壓電傳感器將始終相對于環境壓力進行精確的測量，不論環境條件如何改變。這使其成為以下高精度控制的理想備選:
- 真空鎖 (確保精確快速的排氣并防止真空鎖受到空氣污染)
- 相對于環境的腔室超壓和欠壓控制。
例如:
一名客戶想要在 10 毫巴的相對環境超壓下打開真空鎖，以免在他打開真空鎖時氣體涌入真空鎖。為此，此客戶可以基于差分壓電讀數來執行一種控制算法。當壓電讀數為 +10 毫巴時，表示真空鎖中的壓力較真空鎖外的環境壓力超出 10 毫巴 (不論環境壓力是多少，例如 1000 或 1020 毫巴)。除差分測量之外，變送器還提供較寬的測量范圍，此范圍可通過模擬輸出獲得。
技術數據
測量原理: | 依據 MEMS Pirani 傳感器的熱傳導 | |||||||||||
壓電傳感器中硅膜的機械偏轉 | ||||||||||||
測量范圍 (N2 和空氣): | 5×10-5 至 1500 毫巴 | |||||||||||
測量范圍差分: | -1013 至 1013 毫巴 (RS232) | |||||||||||
精確度 (1) (N2): | MEMS Pirani: | 5×10-4 至 1x10-3 毫巴: | 誤差是讀數的 ±10% | |||||||||
1×10-3 至 100 毫巴: | 誤差是讀數的 ±5% | |||||||||||
100 至 1000 毫巴: | 誤差是讀數的 ±25% | |||||||||||
差分壓電: | -10 至 10 毫巴: | 誤差是讀數的 ±10% ±0.67 毫巴 | ||||||||||
-100 至 -10 毫巴: | 誤差是讀數的 ±8% | |||||||||||
-1013 至 -100 毫巴: | 誤差是讀數的 ±1% | |||||||||||
10 至 100 毫巴 | 誤差是讀數的 ±5% | |||||||||||
重復性 (1) (N2): | MEMS Pirani: | 1x10-3 至 100 毫巴: | 誤差是讀數的 ±2% | |||||||||
差分壓電: | -1013 至 10 毫巴: | 誤差是讀數的 ±1% | ||||||||||
電源電壓: | 9-30 伏直流 | |||||||||||
功耗: | < 1.2 瓦 | |||||||||||
熔絲 (熱可恢復): | 200 毫安 | |||||||||||
模擬輸出: | 0.61-10.23 伏直流，Log. 1.286 伏直流/十進制 | |||||||||||
模擬輸出分辨率: | 16 位 | |||||||||||
模擬輸出阻抗: | 100 歐 | |||||||||||
模擬輸出更新率: | 16 赫茲 | |||||||||||
傳感器故障，模擬輸出: | 0.5 伏 | |||||||||||
設定點繼電器: | ||||||||||||
P/N: 230365V02: | 3 | |||||||||||
設定點繼電器范圍: | 值: | 2 ×10-4 至 1300 毫巴 | ||||||||||
差分值: | -1013 毫巴至 1333 毫巴 | |||||||||||
設定點繼電器觸點額定值: | 1 安/30 伏直流/交流 (電阻性負載) | |||||||||||
設定點繼電器響應時間: | < 100 毫秒 | |||||||||||
設定點繼電器觸點電阻: | 100 毫歐 (值) | |||||||||||
設定點繼電器觸點耐久性: | 100000 循環 (最小值) (30 伏直流/1 安負載) | |||||||||||
設定點繼電器觸點耐久性: | 2000000 循環 (最小值) (30 伏直流/0.2 安負載) | |||||||||||
材料暴露于真空 (2): | 304 號不銹鋼、密封材料 FPM | |||||||||||
內部容積: | KF16 法蘭 | 2.8 厘米3 | ||||||||||
外殼材質: | 304 號不銹鋼 | |||||||||||
法蘭材質: | 304 號不銹鋼 | |||||||||||
重量: | 305 克 | |||||||||||
允許壓力: | 2 巴 | |||||||||||
運行溫度: | 0 至 40 °C (32 至 104 °F) | |||||||||||
烘烤溫度 (電源關閉): | 85 °C (185 °F) | |||||||||||
燈絲溫度: | 超過室溫 35 °C | |||||||||||
濕度: | 0 – 95% 非冷凝 | |||||||||||
異物防護等級: | IP40 | |||||||||||
泄漏速率: | < 5.10-9 毫巴?升/秒 | |||||||||||
配件和備件編號
零件 |
產品號 |
TTR 200 N，ATM，DN16 KF，RS232，3SP | 230365V02 |
螺旋管 DN 16 ISO-KF | 230082 |
擋板 DN 25 ISO-KF，含定心環 | 230078 |
定心環 (1.4305 號不銹鋼)，含 O 型環，DN16 KF | 88346 |
定心環 (不銹鋼)，含燒結金屬過濾器，DN16 KF | 88351 |
卡環 (鋁)，DN16 KF | 18341 |
定心環，含細濾器 DN16 KF | 88396 |
