說明
PTR 237 N PENNINGVAC 系列真空變送器可提供從 1×10-8 毫巴到 5×10-3 毫巴的較大測量范圍，基于對冷陰極電離電流的測量結果。
配備 RS232 數字通信接口 (P/N: 89642V02) 或 EtherCAT 數字通信接口 (P/N: 230703V02) 的變送器版本可設置變送器參數，并可提供實時壓力測量結果。更多詳情，請參閱通信協議 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。(P/N: 230703V02)
這些變送器用途廣泛，可用作獨立裝置，或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。所有 PENNINGVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。
每臺變送器在出廠前已逐臺進行全量程測試。測試報告隨附在包裝中。此外，每個變送器壓力讀數均在操作溫度范圍內逐一得到溫度補償。
變送器擁有多達三個機械繼電器，這些繼電器可用于過程控制，例如閥或泵的聯鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設備，獲取壓力讀數，或進行壓力控制。
傳感器技術
冷陰極反磁控管采用高電壓陽極、陰極和永磁體。電子向陽極加速，并將通過碰撞而使分子離子化。磁場使電子偏轉，從而使電子在穿過磁場前往陽極時做螺旋形移動。這種螺旋運動增大了電子遇到分子并使分子離子化的機會。
分子離子化產生電流，該電流是壓力的函數。
FAQ (常見問題解答)
應用
問: 變送器和傳感器元件能否持續承受機械前級泵的振動?
答: 能，冷陰極傳感器能夠承受持續振動。
問: 變送器能否兼容氟氣?
答: 不能，變送器不應在侵蝕性環境中使用，比如半導體蝕刻用途。
問: 通過閥門閉合將變送器抽真空并隔離，壓力卻升高了。變送器是否泄漏?
答: 不太可能，密閉空間排空且泵抽停止時，壓力會因為以水蒸氣為主的釋氣而上升。時間一久，壓力很容易升至數毫巴。
問: 當使用氦泄漏檢測器測試變送器是否泄漏時，泄漏讀數在約 30 秒后緩慢上升。變送器是否泄漏?
答: 未泄漏，變送器內部密封使用了彈性體 FPM 密封，因此氦分子可滲透 FPM 材料，導致氦泄漏讀數緩慢增長。如果直接使用氦泄漏檢測器測試泄漏的變送器，則幾乎會瞬間顯示泄漏。
問: 變送器是否可以安裝在任何方向?
答: 可以，變送器可以在任何方向安裝，不會損及性能或校準。但是，為了避免顆粒或液體等污染進入設備，建議您不要將變送器的法蘭口向上安裝。
問: 變送器可以承受瞬間通風嗎?
答: 可以，冷陰極傳感器元件對機械力的耐受力，可以承受連續壓力循環和瞬間空氣通風。不建議在冷陰極開啟時執行瞬間通風。
問: 可否連接將由變送器繼電器觸點控制的閥門?
答: 閥門等驅動感應式負載需要采取特殊的預防措施。請參閱第 4.4 章。
問: 變送器可以承受多少次壓力循環?
答: 冷陰極傳感器元件對壓力變化的機械承受力很強，壓力循環的次數不會影響變送器的使用壽命。在出現快速壓力循環的應用中，冷陰極傳感器可能發生濺射，從而導致精度變化。
問: 冷陰極傳感器腔室變色了，這是為什么?
答: 如果冷陰極在高壓 (>1.00E-4 毫巴) 下操作，則冷陰極離子化電池的內壁可能被濺射。這將改變內部測量腔室的顏色，還有可能導致測量精度變化。
模擬輸出
問: 模擬輸出的更新率是?
答: 每秒 16 次。
問: 模擬輸出電纜的長度是?
答: 模擬電纜長度取決于電纜質量和電氣噪音環境，但除了電纜必須屏蔽之外，對長達 100 米的電纜長度一般不需要采取任何特殊的預防措施。
問: 數字讀數正確，但模擬輸出讀數與實際壓力有些偏差，怎么辦?
答: 檢查確保模擬輸出連接到浮置輸入，而非接地輸入。如果連接的模擬輸出回路接地，電源電流將流入信號線路，并導致壓降和接地回路的形成。
數字輸出
問: 通過數字接口請求壓力測量的速度有多快?
答: 每秒 10 次是推薦的壓力請求頻率。
問: 從開機到有效測量值要等多長時間?
答: 開機順序約為 2 秒。開機順序期間，燈環亮起紅光，數字接口對命令無回應。開啟高壓后，冷陰極會進行幾分鐘穩定。
問: 變送器數字通信回應中為何有時會丟失首字符?
答: 這可能是由變送器通信回應過快而導致的。請參閱通信協議 300544663 (RS232)。
校準和調整
問: 變送器需要的校準或零位調整頻率是?
答: 這取決于應用和壓力范圍，但是在眾多應用中無需用戶調整。暫時或影響測量性能的因素是污染、腐蝕、熱和電子干擾。
問: 電源關閉后，變送器是否會保留用戶校準?
答: 會，包括校準資料在內的所有變送器參數都存儲在變送器的非易失性存儲器內。
服務和維修
問: 如果傳感器元件被污染，能否更換?
答: 能，可遵循第 9 章說明的步驟更換冷陰極陽極和陰極片。
問: +24 伏直流電源電壓連接到了模擬輸出+。變送器是否損壞?
答: 有可能，在向輸出引腳通電時，模擬輸出不受保護。
問: 反向電壓連接到了電源輸入。變送器是否損壞?
答: 不太可能，變送器電源電路具有反向電壓和超壓保護，但是 Leybold 不保證變送器不會因此損壞。
問: 狀態 LED 為何不斷亮起紅光?
答: 當冷陰極已開啟，但未成功引燃 5 分鐘后，此 LED 將變為紅光。
應用
變送器可用于眾多不同領域的真空應用中，如：工業應用、研發、半導體、分析和涂料工業中:
· 一般真空壓力測量
· 涂料
· 質譜儀控制
· 系統過程控制
· 檢測異常壓力，利用設定點繼電器采取妥當的安全措施
· 控制系統基礎壓力
測量原理: | 冷陰極離子化電流 | ||
測量范圍 (N2 和空氣): | 1×10-8 至 5×10-3 毫巴 | ||
精確度 (1) (N2): | 1×10-8 至 1x10-3 毫巴: | 讀數的 ±30% | |
重復性 (1) (N2): | 1x10-8 至 1x10-3 毫巴: | 讀數的 ±30% | |
電源電壓: | 9-30 伏直流 | ||
功耗: | < 2 瓦 | ||
熔絲 (熱可恢復): | 200 毫安 | ||
模擬輸出: | 2-9.6 伏直流，Log. 1.33 伏直流/十進制 | ||
模擬輸出 1 分辨率: | 16 位 | ||
模擬輸出阻抗: | 100 歐 | ||
模擬輸出更新率: | 16 赫茲 | ||
電壓輸出 (如果 CC 未引燃): | 0.4 伏直流 | ||
機械設定點繼電器: | |||
P/N: 15734V02, 15736V02: | 0 | ||
P/N: 89642V02: | 3 | ||
設定點繼電器范圍: | 1×10-8 至 5×10-3 毫巴 | ||
設定點繼電器觸點額定值: | 1 安/30 伏直流/交流 (電阻性負載) | ||
設定點繼電器觸點電阻: | 100 毫歐 (值) | ||
設定點繼電器響應時間: | <100 毫秒 | ||
設定點繼電器觸點耐久性: | 100000 循環 (最小值) (30 伏直流/1 安負載) | ||
設定點繼電器觸點耐久性: | 2000000 循環 (最小值) (30 伏直流/0.2 安負載) | ||
軟件設定點繼電器: | |||
P/N: 230703V02: | 2 | ||
設定點繼電器響應時間: | < 20 毫秒 | ||
材料暴露于真空 (2): | 304 號不銹鋼、密封材料 FPM | ||
內部容積: | KF25 | 28.6 厘米3 | |
CF40 | 32.7 厘米3 | ||
外殼材質: | 304 號不銹鋼 | ||
法蘭材質: | 304 號不銹鋼 | ||
重量: | P/N: 15734V02、89642V02: | 321 克 | |
P/N: 230703V02: | 600 克 | ||
P/N: 230281V02: | 318 克 | ||
允許壓力: | 6 巴 | ||
運行溫度: | 0 至 40 °C (32 至 104 °F) | ||
烘烤溫度 (電源關閉): | 85 °C (185 °F) | ||
燈絲溫度: | 超過室溫 35 °C | ||
異物防護等級: | IP40 | ||
泄漏速率: | < 5?0-9 毫巴?升/秒 | ||
零件 |
產品號 |
PTR 225 N、DN 25 KF | 15734V02 |
PTR 225 N、DN 25 KF、RS232、3SP | 89642V02 |
PTR 225 N、EtherCat、DN 25 KF | 230703V02 |
PTR 237 N、DN 40 CF | 15736V02 |
陰極替換片 PTR 90 N / PTR 225 N | EK16291V02 |
陽極替換環 PTR 90 N / PTR 225 N | V02 |
Display 1 | 230001 |
Display 2 | 230024 |
Display 3 | 230025 |
Graphix 1 | 230680V01 |
Graphix 2 | 230681V01 |
Graphix 3 | 230682V01 |
A 型電纜，5 米 | 12426 |
A 型電纜，10 米 | 230012 |
A 型電纜，15 米 | 12427 |
A 型電纜，20 米 | 12428 |
A 型電纜，30 米 | 12429 |
A 型電纜，50 米 | 12431 |
A 型電纜，75 米 | 12432 |
A 型電纜，100 米 | 12433 |
螺旋管 DN 25 ISO-KF | 230083 |
定心環 (1.4305 號不銹鋼)，含 O 型環 | 88374 |
定心環 (不銹鋼)，含燒結金屬過濾器 | 88352 |
卡環 (鋁) | 210043 |
隔板，含定心環 (FPM) | 230078 |
