FAQ (常見問題解答)

應(yīng)用

問: 變送器和傳感器元件能否持續(xù)承受機(jī)械前級(jí)泵的振動(dòng)?

答: 能，冷陰極傳感器能夠承受持續(xù)振動(dòng)。

問: 變送器能否兼容氟氣?

答: 不能，變送器不應(yīng)在侵蝕性環(huán)境中使用，比如半導(dǎo)體蝕刻用途。

問: 通過閥門閉合將變送器抽真空并隔離，壓力卻升高了。變送器是否泄漏?

答: 不太可能，密閉空間排空且泵抽停止時(shí)，壓力會(huì)因?yàn)橐运魵鉃橹鞯尼寶舛仙r(shí)間一久，壓力很容易升至數(shù)毫巴。

問: 當(dāng)使用氦泄漏檢測器測試變送器是否泄漏時(shí)，泄漏讀數(shù)在約 30 秒后緩慢上升。變送器是否泄漏?

答: 未泄漏，變送器內(nèi)部密封使用了彈性體 FPM 密封，因此氦分子可滲透 FPM 材料，導(dǎo)致氦泄漏讀數(shù)緩慢增長。如果直接使用氦泄漏檢測器測試泄漏的變送器，則幾乎會(huì)瞬間顯示泄漏。

問: 變送器是否可以安裝在任何方向?

答: 可以，變送器可以在任何方向安裝，不會(huì)損及性能或校準(zhǔn)。但是，為了避免顆粒或液體等污染進(jìn)入設(shè)備，建議您不要將變送器的法蘭口向上安裝。

問: 變送器可以承受瞬間通風(fēng)嗎?

答: 可以，冷陰極傳感器元件對(duì)機(jī)械力的耐受力，可以承受連續(xù)壓力循環(huán)和瞬間空氣通風(fēng)。不建議在冷陰極開啟時(shí)執(zhí)行瞬間通風(fēng)。

問: 可否連接將由變送器繼電器觸點(diǎn)控制的閥門?

答: 閥門等驅(qū)動(dòng)感應(yīng)式負(fù)載需要采取特殊的預(yù)防措施。請(qǐng)參閱第 4.4 章。

問: 變送器可以承受多少次壓力循環(huán)?

答: 冷陰極傳感器元件對(duì)壓力變化的機(jī)械承受力很強(qiáng)，壓力循環(huán)的次數(shù)不會(huì)影響變送器的使用壽命。在出現(xiàn)快速壓力循環(huán)的應(yīng)用中，冷陰極傳感器可能發(fā)生濺射，從而導(dǎo)致精度變化。

問: 冷陰極傳感器腔室變色了，這是為什么?

答: 如果冷陰極在高壓 (>1.00E-4 毫巴) 下操作，則冷陰極離子化電池的內(nèi)壁可能被濺射。這將改變內(nèi)部測量腔室的顏色，還有可能導(dǎo)致測量精度變化。

模擬輸出

問: 模擬輸出的更新率是?

答: 每秒 16 次。

問: 模擬輸出電纜的長度是?

答: 模擬電纜長度取決于電纜質(zhì)量和電氣噪音環(huán)境，但除了電纜必須屏蔽之外，對(duì)長達(dá) 100 米的電纜長度一般不需要采取任何特殊的預(yù)防措施。

問: 數(shù)字讀數(shù)正確，但模擬輸出讀數(shù)與實(shí)際壓力有些偏差，怎么辦?

答: 檢查確保模擬輸出連接到浮置輸入，而非接地輸入。如果連接的模擬輸出回路接地，電源電流將流入信號(hào)線路，并導(dǎo)致壓降和接地回路的形成。

數(shù)字輸出

問: 通過數(shù)字接口請(qǐng)求壓力測量的速度有多快?

答: 每秒 10 次是推薦的壓力請(qǐng)求頻率。

問: 從開機(jī)到有效測量值要等多長時(shí)間?

答: 開機(jī)順序約為 2 秒。開機(jī)順序期間，燈環(huán)亮起紅光，數(shù)字接口對(duì)命令無回應(yīng)。開啟高壓后，冷陰極會(huì)進(jìn)行幾分鐘穩(wěn)定。

問: 變送器數(shù)字通信回應(yīng)中為何有時(shí)會(huì)丟失首字符?

答: 這可能是由變送器通信回應(yīng)過快而導(dǎo)致的。請(qǐng)參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232)。

校準(zhǔn)和調(diào)整

問: 變送器需要的校準(zhǔn)或零位調(diào)整頻率是?

答: 這取決于應(yīng)用和壓力范圍，但是在眾多應(yīng)用中無需用戶調(diào)整。暫時(shí)或影響測量性能的因素是污染、腐蝕、熱和電子干擾。

問: 電源關(guān)閉后，變送器是否會(huì)保留用戶校準(zhǔn)?

答: 會(huì)，包括校準(zhǔn)資料在內(nèi)的所有變送器參數(shù)都存儲(chǔ)在變送器的非易失性存儲(chǔ)器內(nèi)。

服務(wù)和維修

問: 如果傳感器元件被污染，能否更換?

答: 能，可遵循第 9 章說明的步驟更換冷陰極陽極和陰極片。

問: +24 伏直流電源電壓連接到了模擬輸出+。變送器是否損壞?

答: 有可能，在向輸出引腳通電時(shí)，模擬輸出不受保護(hù)。

問: 反向電壓連接到了電源輸入。變送器是否損壞?

答: 不太可能，變送器電源電路具有反向電壓和超壓保護(hù)，但是 Leybold 不保證變送器不會(huì)因此損壞。

問: 狀態(tài) LED 為何不斷亮起紅光?

答: 當(dāng)冷陰極已開啟，但未成功引燃 5 分鐘后，此 LED 將變?yōu)榧t光。

應(yīng)用

變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中，如：工業(yè)應(yīng)用、研發(fā)、半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:

· 一般真空壓力測量

· 涂料

· 質(zhì)譜儀控制

· 系統(tǒng)過程控制

· 檢測異常壓力，利用設(shè)定點(diǎn)繼電器采取妥當(dāng)?shù)陌踩胧?/span>

· 控制系統(tǒng)基礎(chǔ)壓力