底吹氬系統專用質量流量控制器
質量流量計是一種精確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。質量流量傳感器直接計量氣體質量流量，有很高的測量精度，是對應于標準狀態下（101.325kPa, 20℃）的體積流量，通常表達SLPM（標準升/分），氣體質量流量自動換算成體積流量。
在質量流量計的基礎上，再加上調節閥門和特定的PID控制電路研制而成底吹氬系統專用質量流量控制器，底吹氬系統專用質量流量控制器即冶金特性控制器，具有質量流量計的功能，還能自動控制氣體流量。用戶可根據需要進行流量設定，質量流量控制器自動地將流量恒定在設定值上，控制器帶壓力自適應功能，不受系統壓力或環境溫度的影響。質量流量控制器是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控制的氣體穩流裝置。
DHZQK質量流量控制器安裝時要先連接流量計的上游端，上游直管段應滿足10DN的要求,下游直管段應滿足5DN的要求；
DHCZK氣體層流質量流量控制器，可測流體范圍廣泛，測量管的振動幅小，對迎流流速分布不敏感，因而安裝時無直管段要求。
閥門的控制功能是依靠驅動機構或流體驅使啟閉件升降、滑移、旋擺或回轉運動以改變流道面積的大小來實現的，調節范圍為：12-600Nl/min；16-800Nl/min；20-1000Nl/min；24-1200Nl/min；30-1500Nl/m。
