激光干涉儀工作原理簡(jiǎn)介。激光干涉儀作為現(xiàn)代精密測(cè)量?jī)x器的代表，已廣泛應(yīng)用于精密制造和計(jì)量等各個(gè)領(lǐng)域，在精密位移，直線度和垂直度等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。確定激光干涉儀測(cè)量精度的關(guān)鍵因素是什么？

 

    激光干涉儀簡(jiǎn)介：

 

    激光干涉儀以光波為載體，具有測(cè)量精度高，測(cè)量速度快，測(cè)量范圍寬，*高速度分辨率高的特點(diǎn)。光波的波長(zhǎng)可以直接定義儀表并追溯到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。因此，激光干涉儀廣泛應(yīng)用于精密儀器的質(zhì)量控制和校準(zhǔn)，如數(shù)控機(jī)床，PCB鉆孔機(jī)，坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，位移傳感器，以及研發(fā)，制造高端設(shè)備和其他領(lǐng)域。

 

    使用激光干涉儀的用途：

 

    激光干涉儀結(jié)合了不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)幾何參數(shù)的高精度測(cè)量，如線性長(zhǎng)度，角度，直線度，垂直度，平行度和平直度的測(cè)量。

 

    通過(guò)動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件的組合，激光干涉儀可以動(dòng)態(tài)測(cè)量和檢測(cè)線性位移，角度和直線性能，以及位移，速度，加速度，振幅和頻率的動(dòng)態(tài)分析。

 

    激光干涉儀的工作原理：

 

    激光干涉儀發(fā)射單頻光束。光束撞擊線性干涉儀并在鏡子中分成兩束光束。然后，兩束光線被反射回分束器，*后再次會(huì)聚到激光干涉儀。如果光程差不改變，激光干涉儀將在兩極之間找到建設(shè)性和相消干涉的穩(wěn)定信號(hào)。如果光程差改變，則計(jì)算這些變化并用于測(cè)量?jī)蓚€(gè)光路之間的差異。