現(xiàn)今，無(wú)論是工業(yè)界還是人們?nèi)粘Ｉ钪校瑹o(wú)不需要使用大量的光學(xué)鏡組組件，例如一些先進(jìn)的激光切割或掃描設(shè)備、高分辨率攝影器材、眼鏡等。隨著應(yīng)用的復(fù)雜性和精度要求的提升，對(duì)鏡組組件尤其是頻繁使用的球面鏡的加工精度要求也隨之提高。這意味著用于檢測(cè)相關(guān)組件參數(shù)的檢測(cè)儀器的精度和效率也必須進(jìn)一步提高。

 

    北京理工大學(xué)成功研發(fā)的激光差動(dòng)共焦干涉組件參數(shù)測(cè)量?jī)x器，是全球首臺(tái)能夠?qū)η蛎婀鈱W(xué)元件同時(shí)進(jìn)行多種參數(shù)高精度綜合測(cè)量的儀器，它不僅免除購(gòu)買多臺(tái)測(cè)量?jī)x器的需要，而且大幅減少測(cè)量中因更換儀器而反復(fù)裝調(diào)的時(shí)間。雷尼紹的XL-80系列激光干涉儀作為其中的核心組件之一，為測(cè)量?jī)x提供穩(wěn)定可靠的測(cè)長(zhǎng)數(shù)據(jù)。

 

    工作原理

 

    球面鏡(透鏡表面是球面的一部分)被廣泛應(yīng)用于工業(yè)、科研等范疇，特別是半導(dǎo)體制程中的光刻機(jī)、航天攝像系統(tǒng)、望遠(yuǎn)鏡等對(duì)內(nèi)部光學(xué)組件有極嚴(yán)格要求的應(yīng)用，每個(gè)組件的微小加工誤差對(duì)系統(tǒng)的成像質(zhì)量都有著極大的影響(球面鏡圖解如圖1所示,)。在北京理工大學(xué)成功開(kāi)發(fā)激光差動(dòng)共焦干涉組件測(cè)量?jī)x之前，市場(chǎng)上沒(méi)有能同時(shí)進(jìn)行相關(guān)參數(shù)測(cè)量的儀器。

 

    在解釋激光干涉儀的結(jié)構(gòu)和工作原理時(shí)，北京理工大學(xué)光電學(xué)院教授趙維謙教授說(shuō)：“我們應(yīng)客戶的要求來(lái)定制不同規(guī)格配置的測(cè)量?jī)x器，基本機(jī)構(gòu)主要由差動(dòng)共焦干涉測(cè)量主機(jī)(包含差動(dòng)共焦干涉光路)、標(biāo)準(zhǔn)透鏡、氣浮導(dǎo)軌、多維調(diào)整架、機(jī)電移動(dòng)平臺(tái)和雷尼紹XL-80激光干涉儀組成。差動(dòng)共焦干涉測(cè)量主機(jī)向被測(cè)鏡射出測(cè)量光束并聚于標(biāo)準(zhǔn)透鏡焦點(diǎn)處，被測(cè)透鏡通過(guò)多維調(diào)整架架設(shè)在氣浮導(dǎo)軌上，由機(jī)電移動(dòng)平臺(tái)帶動(dòng)調(diào)整架與被測(cè)透鏡沿光軸方向移動(dòng)。當(dāng)測(cè)量光束匯聚點(diǎn)與被測(cè)透鏡前表面頂點(diǎn)或后表面頂點(diǎn)重合時(shí)，光束由被測(cè)鏡表面反射，沿路返回進(jìn)行數(shù)據(jù)分析，同時(shí)測(cè)長(zhǎng)激光干涉儀(XL-80)實(shí)時(shí)采集被測(cè)透鏡的位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)。