基于激光干涉儀的旋轉(zhuǎn)軸誤差快速檢定方法.pdf基于激光干涉儀的旋轉(zhuǎn)軸誤差快速檢定方法.pdf,為了提升五軸數(shù)控機(jī)床各旋轉(zhuǎn)軸精度，解決旋轉(zhuǎn)軸幾何誤差難以測(cè)量的問(wèn)題，提出了一種基于激光干涉儀的旋轉(zhuǎn)軸幾何精度快速測(cè)量方法。

 

    該方法針對(duì)AC雙轉(zhuǎn)臺(tái)和BC擺頭轉(zhuǎn)臺(tái)的結(jié)構(gòu)特性，采用旋轉(zhuǎn)軸與直線軸聯(lián)動(dòng)的測(cè)量技術(shù)，可以避免傳統(tǒng)測(cè)量方法對(duì)旋轉(zhuǎn)軸中心的依賴性，推導(dǎo)了測(cè)量中直線軸轉(zhuǎn)角誤差與直線度對(duì)旋轉(zhuǎn)軸幾何誤差約束關(guān)系，在保證精度的同時(shí)減少了測(cè)量過(guò)程中的設(shè)備安裝調(diào)試時(shí)間，實(shí)現(xiàn)了五軸機(jī)床旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)角誤差、重復(fù)轉(zhuǎn)角誤差以及反向間隙的快速測(cè)量和補(bǔ)償。

 

    對(duì)實(shí)際五軸機(jī)床AC雙轉(zhuǎn)臺(tái)幾何精度進(jìn)行檢定，提高了旋轉(zhuǎn)軸的幾何精度，實(shí)驗(yàn)證明該測(cè)量方法具有很強(qiáng)的工程應(yīng)用價(jià)值。;

 

    “干涉法”是一種利用波（通常是光波、無(wú)線電波或聲波）干涉現(xiàn)象的測(cè)量方法。測(cè)量可以包括波本身的某些特性以及波與之相互作用的材料。此外，干涉法被用來(lái)描述使用光波研究位移變化的技術(shù)。這種位移測(cè)量干涉法廣泛應(yīng)用于精密加工中的標(biāo)定和機(jī)械級(jí)運(yùn)動(dòng)控制。

 

    通過(guò)使用兩個(gè)光束（通常是將一個(gè)光束分成兩個(gè)），當(dāng)這兩個(gè)光束重疊時(shí)，可以形成干涉圖樣。由于可見(jiàn)光的波長(zhǎng)很短，因此可以檢測(cè)到兩束光之間的光路（行駛距離）的微小變化（因?yàn)檫@些差異將導(dǎo)致干涉圖樣的顯著變化）。因此，一百多年來(lái)，光學(xué)干涉測(cè)量一直是一種有價(jià)值的測(cè)量技術(shù)。

 

    后來(lái)隨著激光的發(fā)明，激光干涉儀的精確度得到了提高。第一次演示使用光干涉原理作為測(cè)量工具是由阿爾伯特a.邁克爾遜在1880年通過(guò)發(fā)展第一個(gè)干涉儀實(shí)現(xiàn)的。盡管這項(xiàng)技術(shù)（和測(cè)量精度）已經(jīng)發(fā)展了多年，但邁克爾遜干涉儀的基本原理仍然是干涉測(cè)量學(xué)的核心。