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半導體特氣檢測儀XD-303
半導體特氣檢測儀XD-303 特點：
采用定電位電解式傳感器，對被測氣體具有選擇性。
高檢測靈敏度。
能檢測很多種類的半導體特氣。
液晶數字顯示。
| 型 號 | XD-303AH | XD-303PH | XD-303BH | XD-303 |
| 檢測對象氣體 | 砷烷 (ASH3) | 磷烷 (PH3) | (B2H6) | 其它 |
| 檢 測 范 圍 | 1ppm 0～0.2ppm | 0～1ppm 0～0.3ppm | 0～1ppm | 因規格而異 |
| 最 小 刻 度 | 0.1ppm 0.01ppm | 0.1ppm 0.01ppm | 0.1ppm | |
| 采 樣 方 式 | 自動吸引式 | |||
| 應 答 速 度 | 60%應答40秒 | |||
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