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壓阻式壓力傳感器的結(jié)構(gòu),其核心為一塊有四個(gè)擴(kuò)散電阻的單晶硅膜片,用一個(gè)圓形環(huán)固定,將兩個(gè)氣室隔開,兩個(gè)氣室分別與被測壓力相通,膜上布四個(gè)擴(kuò)散電阻,組成一個(gè)測量電橋。
用于腐蝕性介質(zhì)測量的壓阻式傳感器多采用隔離式結(jié)構(gòu),壓力通過密室兩邊由不銹鋼等材料制作的隔離膜片,經(jīng)隔離液傳送到被放置于密室中的單晶硅膜片,使單晶硅膜片上的擴(kuò)散電阻阻值發(fā)生變化。不但解決了耐腐蝕的問題,且提高了傳感器引線的抗沖擊和振動性能,也易于實(shí)現(xiàn)過載保護(hù)。
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