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有少許MKS質量流量控制器,若有需求,敬請聯絡

時間:2025-5-9閱讀:180
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有少許MKS質量流量控制器,若有需求,敬請聯絡

尊敬的新老用戶

      您好!

目前我們公司有有少許MKS質量流量控制器,若有需求,敬請聯絡!MKS 質量流量控制器是一款在流量控制領域具有zhuoyue性能和廣泛應用的設備,以下是關于它的詳細介紹:

產品特點

  • 高精度測量與控制:采用先進的熱式或壓差式測量技術,能精確測量和控制氣體或液體的質量流量,測量精度可達 ±0.5% FS 或更高,可實現對流量的精細調節,滿足各種高精度工藝需求。

  • 快速響應:響應時間通常在秒級以內,如某些型號可在小于 2 秒內快速達到設定值,能迅速對流量變化做出反應,及時調整流量,確保工藝過程的穩定性2

  • 多種通信接口:提供模擬量接口(如 0 - 5V DC、4 - 20mA)和數字接口(如 RS485、Profibus、EtherCAT、Profinet、DeviceNet 等),可方便地與不同的控制系統集成,實現遠程監控和自動化控制3

  • 寬量程范圍:有多種量程可供選擇,流量范圍從微小流量(如 10sccm)到較大流量(如 200SLM),能滿足不同應用場景下的流量控制需求2

  • 高可靠性:采用優質的材料和先進的制造工藝,具有良好的耐腐蝕性和抗干擾能力。其平衡力閥門設計可將管路壓力波動導致的振動降到最小,確保在惡劣的工業環境中也能穩定工作2

  • 多氣體兼容:內置多種氣體的校正參數,可直接用于不同種類氣體的流量控制,無需復雜的重新校準,方便用戶在不同工藝中使用多種氣體。

應用領域

  • 半導體制造:在半導體工藝中,如化學氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)、刻蝕、離子注入等環節,精確控制各種工藝氣體的流量,對于保證芯片制造的質量和一致性至關重要。

  • 化工與制藥:在化工生產中的化學反應過程、精細化工的合成工藝以及制藥行業的藥物研發、生產等環節,用于精確控制各種原料氣體和反應氣體的流量,以確保化學反應的順利進行和產品質量的穩定。

  • 航空航天:在航空發動機的測試、航空燃料的輸送控制以及航天領域的推進劑流量控制等方面,MKS 質量流量控制器以其高精度和高可靠性發揮著重要作用。

  • 科研與實驗室:在各類科研實驗中,如材料研究、燃燒實驗、生物醫學實驗等,需要精確控制氣體或液體的流量,MKS 質量流量控制器能夠為實驗提供準確的流量控制,保證實驗結果的準確性和可重復性。

  • 新能源:在太陽能電池生產過程中的鍍膜、刻蝕等工藝,以及燃料電池的研發和生產中,用于控制氫氣、氧氣、氮氣等氣體的流量,對提高新能源產品的性能和質量具有重要意義。



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