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電阻真空計(jì)也稱(chēng)皮拉尼(Pirani)真空計(jì),它是憑借熱絲電阻的變化反映壓力的。它主要由規(guī)管和測(cè)量線路兩部分組成,其測(cè)量范圍為104~10-1 Pa。
電阻式規(guī)管的結(jié)構(gòu)如圖4-3所示,在規(guī)管殼內(nèi)封裝一個(gè)用電阻溫度系數(shù)高的電阻絲繞制的圓柱螺旋形熱絲,熱絲兩端用引線引出規(guī)管,接測(cè)量線路。規(guī)管殼可用金屬或玻璃制成,金屬外殼具有耐用、拆卸熱絲方便等優(yōu)點(diǎn),缺點(diǎn)是密封性能較差,價(jià)格高;玻璃外殼具有密封性能好、價(jià)格低等優(yōu)點(diǎn),缺點(diǎn)是易損壞。
繞制熱絲的一些電阻絲的電阻溫度系數(shù)和電阻率,如表4-1所示,其中常用的有鎢、鉑和鎳三種。為了保證熱絲的工作穩(wěn)定性,除對(duì)熱絲表面進(jìn)行清潔處理外,有時(shí)還在熱絲表面敷一層薄玻璃、石英或銣等,以避免熱絲在高壓力下使用時(shí)被氧化或玷污,認(rèn)為這會(huì)使其熱慣性增大。
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