在真空系統(tǒng)中，高真空插板閥用來切斷或接通管路氣流，按其結(jié)構(gòu)原理可分為滾珠脹緊型與平行四邊形運動機(jī)構(gòu)撐開型。本文的研究對象ZBS-800 高真空插板閥為滾珠脹緊型，滾珠脹緊方式的高真空插板閥主要由閥體(閥殼、閥蓋、密封圈)、閥板組件(脹緊滾珠、密封閥板、承壓閥板、板簧、保持架、導(dǎo)向輪)、驅(qū)動部分(曲柄連桿機(jī)構(gòu)、氣缸、機(jī)械到位開關(guān))等部件組成，具體結(jié)構(gòu)原理圖如圖1 所示。
真空插板閥是一種雙向密封閥，在正向或反向抽真空時，密封閥板兩面形成0 至1 大氣壓壓差，均能達(dá)到真空密封，壓差作用在密封閥板上的力，無論壓差方向如何，均自動增強(qiáng)O型膠圈的密封力。閥門開啟時，驅(qū)動桿向后運動，滾珠進(jìn)入閥板凹坑，板簧使兩個閥板離開閥座，緊壓在保持架兩側(cè)平面上，閥板隨保持架移動。閥門關(guān)閉時，驅(qū)動桿向前移動，當(dāng)閥板前進(jìn)到位，頂塊接觸閥殼后，保持架繼續(xù)移動，將滾珠推出凹坑，閥板壓向閥座，達(dá)到真空密封，此時屬于靜態(tài)密封結(jié)構(gòu)。
