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真空的由來及制造真空的設備——高真空鍍膜機

時間:2011-2-23閱讀:3070
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    科學技術(shù)飛躍的今天,光電技術(shù)的發(fā)展與應用已經(jīng)深入到各行各業(yè),但是其制備的必須設備——真空鍍膜機器,由zui初的復雜化、手動化和只能被應用到軍事科研領域,發(fā)展到現(xiàn)在的簡單化,集成化,智能化,并且被廣泛推行及民用,價格也由之前的幾千萬一臺降到現(xiàn)在的幾百萬就可以買到。光電技術(shù)的發(fā)展必然以真空技術(shù)為基礎。

    鍍膜機是集多門學科一體的精密儀器,尤其在機電技術(shù)的應用方面,甚為廣泛,所以,機電一體化技術(shù)是真空技術(shù)的基礎。鍍膜設備的進步與發(fā)展也充分體現(xiàn)了機電技術(shù)的價值。

   “真空
一詞來自希臘語,原本是虛無的意思,人類對真空的研究和應用由來已久,對它并不陌生。到今天,真空技術(shù)作為一門應用科學,與人類的生活已經(jīng)密不可分。

   zui初人們?yōu)榱双@得真空,做了大量試驗,比如zui的馬德堡半球試驗,人類還發(fā)明了抽氣泵,用來對密閉的容器進行抽氣,以求獲得真空,隨著人類對真空技術(shù)的研究與不斷探索,同事也發(fā)明了測量真空的諸多方式,時至今日,真空技術(shù)已經(jīng)廣泛應用于工業(yè),軍事,農(nóng)業(yè),科研、半導體、顯示技術(shù)等,真空技術(shù)的發(fā)展與應用,大大促進了生產(chǎn)力的發(fā)展。


   現(xiàn)在,人類已經(jīng)能通過特制的容器獲得超高真空,同時,制作了各種儀表測量真空度,不僅如此,還制作各種設備,比如:真空鍍膜機器,就是應用zui廣泛的儀器。
    
   鍍膜機按照其應用領域的不同可以分為電子槍熱蒸發(fā)鍍膜機、磁控濺射鍍膜機、等離子鍍膜機、射頻鍍膜機等,但是他們的結(jié)構(gòu)都一樣,以光學鍍膜機為例,主要有三大部分組成:真空主體
——真空腔,輔助排氣系統(tǒng)(包括排氣系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng))、蒸發(fā)系統(tǒng)(包括坩堝及回轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)、電子槍柜)、成膜控制系統(tǒng)。
 
    

             

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