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真空開關(guān)及真空饋入件: 瑞士INFICON公司

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MKS質(zhì)量流量控制器的詳細(xì)介紹

時(shí)間：2016-8-26閱讀：3694

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MKS質(zhì)量流量控制器是應(yīng)用于多用途的大流量流量控制，涵蓋了從20SLM到200SLM的量程。和其他流量控制器相比，1559A*的控制閥門消除了運(yùn)行中的振動(dòng)和提供了更快的響應(yīng)時(shí)間。通過平衡力閥門的設(shè)計(jì)可以自動(dòng)中和在控制閥門內(nèi)產(chǎn)生的管線壓力所導(dǎo)致的不平衡。

快速的啟動(dòng)，快速的響應(yīng)時(shí)間和1%的測(cè)量精度（氮?dú)猓┻@些特點(diǎn)在減少設(shè)備的停頓時(shí)間和保證正確的氣體流量到工藝腔體內(nèi)都是很重要的。

MKS質(zhì)量流量控制器有杰出的RFI（射頻干擾）保護(hù)能力，在閥門控制信號(hào)小于全量程的0.2%時(shí)有一個(gè)噪音的安全防護(hù)，MKS同樣提供了一個(gè)可全面兼容的、獨(dú)立的電源/讀數(shù)單元，包括246C、247D和647C。

MKS質(zhì)量流量控制器只是顯示流量的流量計(jì)，558可輸出0-5VDC的線性信號(hào)，涵蓋了和1559A相同的量程。同樣，閥門的可用型號(hào)就是154A（1559A的閥門部分）

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