MAXTEK晶體膜厚控制儀主要特點:
1)信息直觀——4色LCD大屏幕液晶顯示器,可實時顯示圖表及各種重要信息,并可以通過按鍵在圖表界面和狀態界面間隨時地進行切換。
2)操作簡便——直觀的菜單模式,32種預置的材料數據庫以及alpha數字鍵區,zui大程度地方便了用戶的操作和使用。
3)功能強大——zui大可擴展到四路探頭輸入,儲存多達99種工藝過程,999種定義膜層和32種預置的材料數據庫。
4)自動控制——自動切換晶片,當晶片失效時,自動暫停或中斷電源;恢復正常后,可連續運行,不需要從頭開始。
5)個性設置——可修改純粹用數字和編碼命名的輸入/輸出信息、控制程序和材料名稱,使其易于辨認,避免混淆。
6)安全可靠——人性化的聲音提示和報警系統,音量大小可調節。