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APC鐘擺閥標準閘閥表面處理:鍍鎳、硬陽Htc真空3位置鐘擺閥通過可調控制氣缸實現真空隔離和真空壓力控制。

真空鐘擺閥動閥連接了傳感器，讓控制器可以讓閥門打開，關閉或到第三個位置，提供更好的設定點精確度和可重複性控制功能。

APC蝶閥主要應用：真空壓力控制和隔離閥門應用產業 SEMI - 半導體FPD - 光電面板 PVD - 物理氣相沉積 Solar - 太陽能

HTC真空蝶閥的功能通常是阻絕或是調節流量, 其關閉的機構主要為一個圓型片, 操作的方式和真空球閥很類似, 可以快速的開啟或關閉, 蝶閥受到歡迎的主要原因是重量...

真空矩形閥廣泛應用于半導體、光電產業之鍍膜設備，安裝于生產線與過渡腔室（load-lock chamber），過渡腔室（load-lock chamber）與傳...

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真空傳輸閥是采用了直連驅動技術的真空閥，外形尺寸小，設計緊湊，所有動件皆位于大氣側因而與真空側隔絕，可減少粉塵產生，并提升產品的使用壽命。另外還有無氣壓時的封合...