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XTC/3-薄膜鍍層控制儀的用途特點及技術規范

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XTC/3-薄膜鍍層控制儀的用途特點及技術規范

特 點
■有單膜層和多膜層型號
■ModelLock技術防止由于模式跳躍導致的膜厚誤差
XTC/3M多膜層型號支持多至99個工藝過程,999個膜層,32個鍍層,2個
傳感器和兩個源
支持INFICON Crystal 12TM,CrystalSix®和雙探頭自動晶體切換,用于zui高生產率
易閱讀的TFT LCD圖形顯示器
XTC/3S單膜層型號支持多至9個鍍層,2個傳感器和兩個源
有以太網連接軟件
單獨運行(無需計算機)或用PC運行的Windows®軟件選件
為便于檢索,可*的和描述性的薄膜與過程名稱
■INFICON XTC/2控制儀的即插即用更換見(限于XTC/2功能和指令組)
 
    用于單層和多層鍍膜工藝的薄膜鍍層控制儀XTC/3裝備有ModelLock1技術,提供可靠的模式跳躍防 止功能,可達到始終如一的鍍膜質量。使用XTC/3 薄膜鍍層控制儀,可高度地控制鍍膜速率與膜層厚度,具有能控制幾乎任何膜層數量的能力。容易安裝和*的可靠性,可確保高的生產率。
 

 
技術規范
功能,參數,或技術規范
XTC/3S單層膜
XTC/3M多層膜
測量分辨的頻率變化
0.05Hz
0.05Hz
測量區間
0.25
0.25
厚度和速率分辨/測量
0.06A,在工具/密度=100
0.06A,在工具/密度=100
 
基頻=6M Hz
基頻=6M Hz
支持XTAL2轉換
計算機通訊
RS232標準,以太網TCP/IP選件
RS232標準,以太網TCP/IP選件
zui大RS232波特率
115.2千波特
115.2千波特
繼電器數
12標準, 無事例可
12標準, 事例可
可編程繼電器功能數
1
1
每個繼電器功能
1
1
繼電器電壓額定值
30伏直流或30伏交流RMS30伏直流
30伏直流或30伏交流RMS30伏直流
 
42V,2.5
42V,2.5
輸入數
8TTL, 24伏直流zui大
8TTL, 24伏直流zui大
可編程輸入功能數
1, 無事例可
1, 事例
記入儀輸入數
1
1
手動電源/手持控制器
排風扇
測試模式
擋光器延遲
次級工具
zui大允許相移頻率
1.0 M Hz
1.0 M Hz
機箱尺寸
1/2機架,2U高度
1/2機架,2U高度
速率和膜厚顯示分辨
0.1A, 0.099.9A/;1A/,
100999A/
0.1A, 0.099.9A/;1A/,
100999A/
 
顯示膜厚分辨=1A
顯示膜厚分辨=1A
通過輸入選擇鍍層
用戶指導語言
英文,中文
英文,中文
控制環
       PID
PID
數據登錄
質量和穩定性功能
樣品和保持
坩堝選擇
坩堝反饋輸入
選擇控制電壓極性
是,+/-2.5510
是,+/-2.5510
 
15-位分辨率
15-位分辨率
程序鎖定碼
       
       
用戶標簽過程/鍍層
       
       
XTC/2 RS232通訊兼容性
是(有限的)
是(有限的)

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