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安捷倫真空泵分子泵組: TPS-移動型渦輪分子泵組 TPS-flexy 渦輪分子泵組 TPS-mini渦輪分子泵組 TPS緊湊型渦輪分子泵組 IDP-3

真空規管及顯示儀表: 瑞士INFICON真空計 Granville-Phillips真空規管及顯示器 INFICON真空規管及顯示器英國EDWARDS真空規管及顯示儀表

石英晶體膜厚控制儀: INFICON晶控探頭維修配件 MAXTEK INFICON

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真空開關及真空饋入件: 瑞士INFICON公司

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四極質譜分析儀: 瑞士INFICON四極質譜

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HTC訂制真空腔體: 學術與研究單位訂制腔體批次真空訂制腔體連續式真空訂制腔體客制化模組

波前傳感器

科學相機（EMCCD）

變形鏡

低溫黑體及大面源黑體

高精度線切割機

500MM望遠鏡

壓電閥及自動壓強控制儀: 瑞士INFICON氣體壓強控制儀美國HEY壓電閥

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PEV-1美國HEY壓電閥

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壓電閥是為了適用于要求控制氣體流量的場合，主要應用領域包括: 磁控濺射，光學鍍膜，太陽能電池，ITO，等離子體刻蝕等。

特點

1. 控制模式：開環控制和閉環控制

2. 易于集成：可與國產自動壓強控制儀配套使用，來實現閉環控制，達到穩定壓強的目的，性價比高，同時亦可選擇進口壓強控制儀

   3性能穩定，壓電陶瓷片壽命長.
4.     響應時間快
5.     無機械連接件，無伺服馬達，無磨損，在斷電的情況下可實現自動關閉的特點

技術參數

流量 0-500 scmm

響應時間 2 毫秒

集成漏率 5×10^-8sml/sec

驅動電壓 0-100VCD/0-24VDC

電路連接標準BNC接頭（Q9）

溫度范圍 10⁰C至60⁰C

zui大入口壓強 50PSI

重量 800克

壓電閥是我們公司的一大特色，歡迎廣大用戶：劉曙東我們將竭誠為你服務！

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