1958年，聯邦德國的W.貝克提出有實用價值的渦輪分子泵，以后相繼出現了各種不同結構的分子泵，主要有立式和臥式兩種,

渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉子（即動葉輪）、靜葉輪和驅動系統等組成。動葉輪外緣的線速度高達氣體分子熱運動的速度（一般為150～400米／秒）。單個葉輪的壓縮比很小，渦輪分子泵要由十多個動葉輪和靜葉輪組成。動葉輪和靜葉輪交替排列。動、靜葉輪幾何尺寸基本相同,但葉片傾斜角相反。整體式轉子。每兩個動葉輪之間裝一個靜葉輪。靜葉輪外緣用環固定并使動、靜葉輪間保持1毫米左右的間隙,動葉輪可在靜葉輪間自由旋轉。在運動葉片兩側的氣體分子呈漫散射。在葉輪左側（圖3a）,當氣體分子到達A點附近時，在角度α1內反射的氣體分子回到左側；在角度β1內反射的氣體分子一部分回到左側，另一部分穿過葉片到達右側；在角度γ1內反射的氣體分子將直接穿過葉片到達右側。同理，在葉輪右側（圖3b）,當氣體分子入射到B點附近時，在α2角度內反射的氣體分子將返回右側；在β2角度內反射的氣體分子一部分到達左側，另一部分返回右側；在γ2角度內反射的氣體分子穿過葉片到達左側。傾斜葉片的運動使氣體分子從左側穿過葉片到達右側，比從右側穿過葉片到達左側的幾率大得多。葉輪連續旋轉，氣體分子便不斷地由左側流向右側，從而產生抽氣作用。

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渦輪分子泵源頭和工作原理

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