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SMC壓力傳感器有哪些資料的下載的原理,SMC壓力傳感器

閱讀:683      發布時間:2014-01-07
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SMC壓力傳感器有哪些資料的下載的原理,SMC壓力傳感器
SMC壓力傳感器是工業實踐中Z為常用的一種傳感器。一般普通壓力傳感器的輸出為模擬信號,模擬信號是指信息參數在給定范圍內表現為連續的信號。 或在一段連續的時間間隔內,其代表信息的特征量可以在任意瞬間呈現為任意數值的信號。而我們通常使用的壓力傳感器主要是利用壓電效應制造而成的,這樣的傳感器也稱為壓電傳感器。
SMC壓力傳感器是使用Z為廣泛的一種傳感器。傳統的壓力傳感器以機械結構型的器件為主,以彈性元件的形變指示壓力,但這種結構尺寸大、重,不能提供電學輸出。隨著半導體技術的發展,半導體壓力傳感器也應運而生。其特點是體積小、輕、準確度、溫度特性。特別是隨著MEMS技術的發展,半導體傳感器向著微型化發展,而且其功耗小、可靠性。
半導體壓電阻型
半導體壓電阻抗擴散壓力傳感器是在薄片表面形成半導體變形壓力,通過外力(壓力)使薄片變形而產生壓電阻抗效果,從而使阻抗的變化轉換成電信號。
靜電容量型
靜電容量型壓力傳感器,是將玻璃的固定極和硅的可動極相對而形成電容,將通過外力(壓力)使可動  溫度傳感器 壓力傳感器
極變形所產生的靜電容量的變化轉換成電氣信號。 (E8Y的動作原理便是靜電容量方式,其他機種采用半導體方式)。
在選擇壓力傳感器的時候我們要考慮他的綜合,而壓力傳感器的受哪些方面的影響呢?其實造成傳感器誤差的因素有很多,下面我們注意說四個無法避免的誤差,這是傳感器的初始誤差。
的偏移量誤差:由于壓力傳感器在整個壓力范圍內垂直偏移保持恒定,因此變換器擴散和激光調節修正的變化將產生偏移量誤差。
其是靈敏度誤差:產生誤差大小與壓力成正比。如果設備的靈敏度于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數。該誤差的產生原因在于擴散過程的變化。
三是線性誤差:這是一個對壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線稱重傳感器。
Z后是滯后誤差:在大多數情形中,壓力傳感器的滯后誤差*可以忽略不計,因為硅片具有很的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
壓力傳感器的這個四個誤差是無法避免的,我們只能選擇的設備,利用新技術來降低這些誤差,還可以在出廠的時候進行一點的誤差校準,盡Z大的可能來降低誤差以滿足客戶的需要。

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