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EPK測厚儀

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更新時間：2025-03-28 16:01:47瀏覽次數(shù)：58次

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篤摯儀器（上海）有限公司

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產(chǎn)品簡介

EPK測厚儀技術(shù)參數(shù)探頭特性F1.5

詳細(xì)介紹

EPK測厚儀技術(shù)參數(shù)

探頭特性	F1.5，N0.7，F(xiàn)N1.5		F2	F5，N2.5，F(xiàn)N5		F15
	F	N	F	F	N	F
EPK測厚儀測量范圍	0-1.5mm	0-0.7mm	0-2mm	0-5mm	0-2.5mm	0-15mm
使用范圍	小工件，薄涂層，跟測量支架一起使用		粗糙表面	標(biāo)準(zhǔn)探頭，使用廣泛		厚涂層
測量原理	磁感應(yīng)	電渦流	磁感應(yīng)	磁感應(yīng)	電渦流	磁感應(yīng)
信號處理	探頭內(nèi)部32位信號處理（SIDSP）
度	±（1μm 0.75%讀值）		±（1.5μm 0.75%讀值）			±（5μm 0.75%讀值）
重復(fù)性	±（0.5μm 0.5%讀值）		±（0.8μm 0.5%讀值）			±（2.5μm 0.5%讀值）
低端分辨率	0.05μm		0.1μm			1μm
zui小曲率半徑（凸）	1.0mm		1.5mm			5mm
zui小曲率半徑（凹，外置探頭）	7.5mm		10mm			25mm
zui小曲率半徑（凹，內(nèi)置探頭）	30mm		30mm			30mm
zui小測量面積	Φ5mm		Φ10mm			Φ25mm
zui小基體厚度	0.3mm	40μm	0.5mm	0.5mm	40μm	1mm
連續(xù)模式下測量速度	每秒20個讀數(shù)
單值模式下zui大測量速度	每分鐘70個讀數(shù)