產(chǎn)品名稱：CCQ-A型系列氣動超高真空插板閥
產(chǎn)品介紹：
　　CCQ-A型系列氣動超高真空插板閥是用壓縮空氣為動力，通過電磁換向閥改變氣路方向，推動氣缸活塞，驅動閥板作上下運動，實現(xiàn)閥門的開啟或關閉，從而達到在超高真空系統(tǒng)中接通或切斷氣流的目的。
　　適用的工作介質(zhì)為潔凈的空氣和非腐蝕性氣體。
 
詳細說明 
? 主要技術性能 
 
適用范圍(Pa) 105～1.3x10-7 
閥門漏率(Pa.L/S) DN≤200為≤1.3x10-7
DN≥250為≤6.7x10-7 
閥門烘烤溫度（℃） ≤150(除傳動裝置外)
 
開閥時閥板兩側壓力差(Pa) ≤2.7x103 
氣源壓力（MPa） 0.4～0.6 
電源電壓 標準出廠：AC220V/50Hz
特殊：AC110V；DC24V；DC12V等 
信號反饋 標準出廠：不帶反饋信號
特殊：微動開關DC/AC5～240V 
 
 
 
? 連接及外形尺寸 
 

型號 通徑(DN) ΦD ΦD0 ΦD1 ΦD2 ΦD3 H A n-d
 L L1 B 法蘭標準 
CCQ-50A 50 89 72.4 61.6 55.6 / 60 91 8-M8 515 153 62 GB/T6071 
CCQ-63A 63 114 92.1 82.6 76.6 / 65 105 8-M8 590 180 62 
CCQ-80A 80 130 110 99 93 / 65 130 16-M8 608 220 75 
CCQ-100A 100 152 130.2 120.7 114.7 / 70 152 16-M8 655 267 94 
CCQ-150A 150 202 181 171.5 165.5 / 70 202 20-M8 707 350 94 
CCQ-200A 200 254 231.8 222.3 216.6 / 80 251 24-M8 806 426 112 
CCQ-250A 250 314 288 308 275 271 85 300 24-M10 1125 550 112 JB5278 
CCQ-300A 300 365 338 353 323 318 90 352 32-M10 1195 613 140 /