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ZZD電阻蒸發鍍膜系列

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更新時間：2025-03-13 10:14:06瀏覽次數：94次

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產品簡介

※　系列產品參數型號項目ZZD-1000ZZD-1400ZZD-1600ZZD-2050真空室規格　　　mmΦ1000×1500Φ1400×1900Φ1600×2100Φ2050×2900極限壓力　　　　Pa1×10-3工作壓力　　　　Pa2×10-2恢復真空時間　　min≤10（從大氣至2×10-2Pa）壓升率　　　　　Pa/h≤0

詳細介紹

※　系列產品參數

型號項目	ZZD-1000	ZZD-1400	ZZD-1600	ZZD-2050
真空室規格　　　mm	Φ1000×1500	Φ1400×1900	Φ1600×2100	Φ2050×2900
極限壓力　　　　Pa	1×10^-3
工作壓力　　　　Pa	2×10^-2
恢復真空時間　　min	≤10 （從大氣至2×10^-2Pa）
壓升率　　　　　Pa/h	≤0.3
離子轟擊源　　　KVA	4	4	12	20
蒸發源Ⅰ　　　　KVA	15	20	25	40
蒸發源Ⅱ　　　　KVA	15	20	27/18	45
蒸鍍材料	Al和SiO₂/MgO₂
工件轉動方式	公轉加自轉（無級調速）
工件自轉軸數	6			10
控制方式	PLC		PLC/PLC+計算機
冷卻水量　　　　m³/h	5	5	7	9
總功率　 KW	～60	～85	～120	～200

型號項目	ZZD-1000	ZZD-1400	ZZD-1600	ZZD-2050
真空室規格　　　mm	Φ1000×1500	Φ1400×1900	Φ1600×2100	Φ2050×2900
極限壓力　　　　Pa	1×10^-3
工作壓力　　　　Pa	2×10^-2
恢復真空時間　　min	≤10 （從大氣至2×10^-2Pa）
壓升率　　　　　Pa/h	≤0.3
離子轟擊源　　　KVA	4	4	12	20
蒸發源Ⅰ　　　　KVA	15	20	25	40
蒸發源Ⅱ　　　　KVA	15	20	27/18	45
蒸鍍材料	Al和SiO₂/MgO₂
工件轉動方式	公轉加自轉（無級調速）
工件自轉軸數	6			10
控制方式	PLC		PLC/PLC+計算機
冷卻水量　　　　m³/h	5	5	7	9
總功率　 KW	～60	～85	～120	～200