蘭州真空設備有限責任公司
※ 系列產品參數型號項目DH-8DH-14DH-18DH-26DH-26A真空室尺寸 mmΦ800×1100Φ1250×1500Φ1600×1750Φ1600×2250Φ2600×2100多弧靶數量 只814182626極限壓力 Pa1
※ 系列產品參數
型號項目 | DH-8 | DH-14 | DH-18 | DH-26 | DH-26A |
真空室尺寸 mm | Φ800×1100 | Φ1250×1500 | Φ1600×1750 | Φ1600×2250 | Φ2600×2100 |
多弧靶數量 只 | 8 | 14 | 18 | 26 | 26 |
極限壓力 Pa | 1.5×10-3 | ||||
工作壓力 Pa | 1.2×10-2 | ||||
恢復真空時間 min | 15(大氣~10-3Pa) | ||||
工作轉動 rpm | 公轉、自轉/二次自轉 | ||||
工作氣體 | Ar 純度99.99% |
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