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成都真空廠家半導體制程PVD沉積臺可定制

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更新時間：2023-11-30 16:53:58瀏覽次數：223次

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成都漢普升科技有限公司

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產品簡介

產地	國產	加工定制	是

成都真空設備廠家半導體制程PVD沉積臺電阻蒸發電子束蒸發離子源輔助清洗輔助沉積可定制

詳細介紹

●本裝置使用電阻蒸發、電子束蒸發和離子源輔助清洗、輔助沉積和原位刻蝕進行復合，用于制備特種薄膜，薄膜具有均勻性、附著力、抗損傷、低顆粒物污染等特點，是半導體制程中關鍵工序的核心裝備，其技術長期被美國、日本等國技術所壟斷，屬于國內卡脖子裝備，也是制約國內半導體領域自主可控的關鍵設備，該設備的技術突破和產業化對國內半導體產業發展具有積極意義。