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磁控濺射脈沖電源

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更新時間：2023-09-18 09:25:07瀏覽次數：679次

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產品簡介

隨著科學技術不斷地發展，磁控濺射技術也得到了快速的發展，但在磁控濺射過程中，關鍵部分是脈沖磁控濺射電源，目前，脈沖磁控濺射電源向大功率、高頻化方向發展，由于開關電源的高頻化使得開關電源的損耗增加，因此，我公司設計生產的大功率磁控濺射脈沖電源采用了移相式軟開關技術，大大降低了電源的開關損耗，提高了電源的效率，利用輸出電流保護點設置的方法，是輸出電流任意調節，實現了快速反應的過流保護。

詳細介紹

產品名稱：磁控濺射脈沖電源

產品型號：BIPS-50001.2E

隨著科學技術不斷地發展，磁控濺射技術也得到了快速的發展，但在磁控濺射過程中，關鍵部分是脈沖磁控濺射電源，目前，脈沖磁控濺射電源

向大功率、高頻化方向發展，由于開關電源的高頻化使得開關電源的損耗增加，因此，我公司設計生產的大功率磁控濺射脈沖電源采用了移相式軟開

關技術，大大降低了電源的開關損耗，提高了電源的效率，利用輸出電流保護點設置的方法，是輸出電流任意調節，實現了快速反應的過流保護。高

效和完善的保護措施是電源能長期可靠的運行保證，電源控制采用數字化設計，實現電源的本地控制和上位機智能化控制的目的。

電源采用脈沖單元疊加技術,將5組相互獨立的單元模塊串聯起來,采用同步驅動技術,實現了5kV 的高壓脈沖輸出。可通過增減脈沖單元的數量,滿足

不同輸出電壓的需要,實現了模塊化設計。

該系列電源的指標為:
脈沖電壓幅值500V～5kV ,脈沖頻率500Hz～50kHz ,脈沖占空比5%～90% ,脈沖電流幅值10～200A ,脈沖功率5～50kW。