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深圳市科銳詩汀科技有限公司
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雙極旋片真空泵的問與答

時間:2020/11/25閱讀:2148
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雙極旋片真空泵的問與答

1、Q:雙極旋片真空泵可以應用到哪些行業?

  A:深圳市科銳詩汀科技有限公司代理的旋片泵可廣泛應用于太陽能、光學、薄膜、冶煉、鑄造、熱處理、手機、半導體、建材、微電子、平板顯示、Low-E玻璃、裝飾品等行業,在PVD、CVD、MBE、電廠凝氣器、油脂精煉系統、鋰電池干燥系統、直接蒸發系統、化工蒸發、蒸餾、濃縮系統、原料藥三合一干燥系統、食品脫水系統、冶金工業、鋼包脫氣、航天模擬實驗、包裝等行業中體現了明顯優勢。

 

2、Q:我要抽到100Pa(1mbar),可以選旋片泵嗎?

   A:可以。在泵的選型上要注意降低一個數量級:如果要抽到100Pa,則泵必須能抽到10Pa,還要考慮腔體的漏率,如果漏率較大,需要維持額定的真空度,還要選擇更小的極限真空度,旋片式真空泵通常有單級和雙極二種,是市場上使用泛的真空泵之一。雙極旋片泵的極限真空度一般在1x10-1Pa,好的能達到5x10-²Pa。

 

 3、Q:雙級旋片泵的抽速怎么選?

 A: 需要考慮待抽腔體的大小、在多長時間內抽到多大的真空度。如果不懂計算,可以交給深圳科銳詩汀的專業工程師幫您計算選型。另外還有一個技巧,就是寧愿選擇稍大一點抽速的泵,會使設備更游刃有余。

 

4、Q:旋片泵抽速較小,腔體較大,對時間無要求,多抽一段時間就可以了吧?

A: 不可以。旋片式真空泵其結構主要有定子,轉子,端蓋和旋片等組成。轉子偏心安裝在定子孔內,轉子開槽。當轉子旋轉時,旋片在槽內依靠離心力保持和定子孔內壁緊密接觸,并沿孔壁在槽內進行滑動,使泵腔容積不斷發生大小變化,再通過排氣閥片,從而完成吸氣,壓縮與排氣過程,達到連續抽氣的目的。如果泵不能短時間內抽到較低的真空度,勢必長時間高速旋轉,轉子就可能發熱膨脹,由于其與內壁緊密接觸,就會發生堵轉,從而失去抽真空的功能。

 

5、Q:雙極旋片泵,可以抽水汽嗎?

A:少量水汽是可以的,但大量的不行。旋片式真空泵在結構形式上一般采用雙級油浸式,即整個泵體浸在油箱內的泵油中,油箱內部有冷卻系統,可進行水冷卻降低泵在氣體壓縮過程中產生大量壓縮熱。(小泵無需水冷卻)。抽的氣體是經過泵油的,如果氣體內含有大量水蒸氣,極易造成泵油乳化。

 

6、Q:雙極旋片泵還有哪些氣體不能抽?

A:雙擊旋片泵不適宜抽除含氧過高,有毒,易爆炸,對金屬有腐蝕作用以及含有顆粒狀塵埃的氣體,也不適用輸送氣體和長時間暴露大氣運轉。

 

7、Q:為什么在使用雙極旋片泵是會有油氣噴出來?如何解決?

A: 旋片式真空泵作為前級泵,一般是從標準大氣壓抽到1Pa以下,由于整個泵體浸在油箱內的泵油中,在剛啟動的時候,大量氣體涌入,極易將泵油帶出泵體,但隨著壓力的下降,氣體越來越稀薄,啟動的一剎那之后,并不會再有泵油被帶出。當然這會給一些對環境潔凈度有要求的客戶造成困擾,可以配置專業的油污過濾器。

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