商品詳情

高性能數字式質量流量控制器 SEC-Z500X

型號 Z512MGX，SEC-Z522MGXN，SEC-Z532MGX，SEC-Z542MGX，SEC-Z552MGX，SEC-Z562MGX，SEC-Z514MGX，SEC-Z524MGXN，SEC-Z534MGX，SEC-Z544MGX，SEC-Z554MGX，SEC-Z564MGX，SEC-Z512MGX，SEC-Z522MGXN，SEC-Z532MGX，SEC-Z542MGX，SEC-Z552MGX，SEC-Z562MGX，

流量范圍0.5sccm-500SLM

日本horiba堀場/厚禮博品牌的SEC-Z500系列屬于高性能數字式熱式質量流量控制器，主要應用MOCVD、PECVD等設備。

概要

熱式質量流量計是半導體制造設備中非常關鍵的零部件。它的工作穩定與否往往成為半導體制程成敗的關鍵因素。
HORIBA銷售量高的數字式氣體質量流量控制器，包含多氣體/多量程功能以實現自由快速更改氣體種類或滿量程。
壓電陶瓷閥實現高精度± 1.0% S.P.，快速響應，有效提高良率及簡化備件管理。

特征

高精度±1.0% S.P.
HORIBA MFC包含多項式近似曲線實現線性補償。此功能實現所有量程上的高精度。為了更真實的反應實際氣體精度，HORIBA STEC監測了不同的工藝氣體并創建了針對不同氣體的校正數據，建立標準氣體管理系統，實現真實氣體精度確認。

高速響應
裝載“變量PID系統"可實現兩設定點之間1秒內快速響應。變量PID基于流量設定點而持續變化。即使滿量程或氣體更改，也能不會影響PID功能。

多氣體，多量程解決方案
HORIBA的配置軟件可簡單快速的更改MFC的規格。更好的是MFC的規格改變不需從設備端拆卸。此舉有效減少MFC庫存需求，極大減少時間和成本的浪費。