【儀表網 儀表會議】二次離子質譜(SMS)是離子質譜學的一個分支,也是表面分析的有利工具。10月8-11日,第六屆中國二次離子質譜會議在中科院大連化學物理研究院召開,對SIMS儀器新研發進展做了了解。
從20世紀60年代臺商用二次離子質譜設備誕生至今,這項技術被廣泛應用于微電子、半導體、材料學、地質學、生物、醫學、天體物理等各個領域,隨著探測方法的改進,二次離子質譜技術不斷得到發展。
會議上,專家匯報了“同位素地質學專用TOF-SIMS科學儀器高分辨飛行時間質量分析器”項目研制進程。這是國家重大科研儀器設備研制專項,于2012年3月啟動,由中國地質科學院地質研究所牽頭,其余參與單位有中科院大連化學物理研究所、吉大、中國地質科學院礦產資源研究所。
飛行時間二次離子質譜(TOF-SIMS)是重要的表面化學分析手段之一,可用于多種固體樣品的直接分析。其大優勢在于脈沖形式離子束的應用,較現有的其他種類的二次離子質譜技術,極大地減小了樣品損耗,適合于珍貴微小的地質樣品分析。二次離子檢測是TOF-SIMS核心技術,增加質量分析器的傳輸效率可提高TOF-SIMS分析精度,但同時會引入調試困難、譜峰重疊等問題。SIMS領域專家在會議上討論了項目進展中遇到的問題,青年科研人員也對SIMS的基礎、儀器和分析應用做了初步培訓和了解。
會后,專家組參觀了研究院102組實驗室,對項目運行做了考察并作出高度評價。第六屆中國二次離子質譜會議為大家提供了交流的平臺,了解了新研究成果,會議聚焦的二次離子質譜研究也取得了一定進展。來自美、英、日等國的SIMS領域專家,及清華大學教授、中國臺灣國立大學教授、中科院研究院等上百位研究人員出席了會議。