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09-262019
09-21壓電平臺與手調(diào)、電動平臺的集成:宏微復合壓電平臺!
壓電平臺的特點是納米級高分辨率、毫秒至亞毫秒級響應速度、納米級定位精度等,因此它非常適于快速、的位置調(diào)節(jié)應用,如樣品的顯微聚焦、微結構的超精密加工、光路的調(diào)整、毫牛級力的控制、圖像的穩(wěn)定及分辨率增強、白光干涉等等。壓電平臺的位移一般在幾百微米至毫米范圍,而在很多應用場景中,都需要宏動平臺(毫米級行程的手調(diào)臺、電動臺等)的輔助,在進行大范圍的粗調(diào)后,再通過壓電平臺進行納米級調(diào)節(jié)。針對該類要求,芯明天提供定制化集成手調(diào)平臺或電動平臺的壓電平臺,從而既可完成位置的粗調(diào),又可完成納米級精度的精調(diào)。下圖所2019
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