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2021
05-19

壓電平臺在各種行業中的應用
壓電平臺是采用壓電陶瓷驅動的納米定位臺，無摩擦、無空回柔性導向機構，有限元分析優化柔性鉸鏈機構，柔性導向系統具有高導向度，高剛度，高負載，無磨損，免維護的特點，內置位移傳感器進行全閉環反饋，確保了平臺具有良好的控制準確度、定位、分辨率和穩定性，響應速度快，穩定時間達毫秒量級，平臺無磁性也不受磁場干擾。壓電平臺是實現切削的納米微加工的主要技術手段。這樣可以高速和準確地控制刀具切割和加工對象運動的定位。壓電平臺可進行防塵防液滴處理，使其可工作在濕度環境。壓電平臺本體材質可采用不銹鋼材質以加工過程中的
2021
05-17

基于壓電陶瓷促動器的振動激勵方法
壓電陶瓷促動器具有大出力、高諧振頻率、高精度、體積小的特點，在帶載的情況下，仍可執行千赫茲以上的高頻激勵振動，是振動激勵應用中一種新型的不錯選擇。壓電陶瓷促動器的外形非常小巧，可小至直徑OD9mm、高H19mm，如此小的外形，它的出力卻仍可高達200N，諧頻達40kHz。傳統中振動測試的常見的方法是使用電動振動器，但它的弊端是當運行超過機械頻率限制時，控制和信號質量（控制偏差、橫向振動）通常會出現問題（電樞諧振）。與傳統方法相比，采用壓電陶瓷促動器作為激勵源的方法，可實現更高的頻率極限及更高的振
2021
05-17

壓電偏轉鏡用于激光掃描系統
激光光束偏轉及其掃描在半導體加工、航空航天、生物醫學、納米科學研究等領域得到了越來越多的應用，同時對其性能要求也越來越高。壓電陶瓷驅動的偏轉鏡具有更高的精度和更高的頻率，采用應變傳感器的閉環系統，具有很高的精確度。壓電偏擺鏡采用壓電陶瓷驅動器直接驅動，多用于圖象處理與穩定、激光掃描與通信、光束偏轉與穩定等系統。特點?二維θx、θy偏轉?偏轉范圍可達12.5mrad?毫秒響應時間?閉環定位精度高?溫度穩定性高?可定制適于航天應用版本、真空版本閉環曲線P33.T8S壓電偏轉鏡的電壓與偏轉角度曲線。帶
2021
05-06

金絲球焊接中壓電技術的應用
金絲球焊線技術，又稱為芯片打線技術，是一種初級內部互連方法，它把框架引腳連到裸片表面或器件邏輯電路內部，這種連接方式把邏輯信號或晶片的電信號與外界連接起來。金絲球焊線技術示意圖如下，金絲球焊接過程是一種不同于熱焊的固態焊接過程，其原理是通過超聲波發生器輸出超聲正弦波電信號，經過超聲換能器轉變為機械振動，振幅經超聲變幅桿放大后傳遞給焊接劈刀，使其在金屬接觸面產生摩擦。在焊接初期階段消除焊接區域氧化膜及雜質，振動摩擦使兩種金屬充分接觸。在焊接階段，由于兩個焊接的交界面處聲阻大，因此產生局部高溫。在短
2021
05-06

大行程三維精密壓電平臺
P12.XY500Z800為大行程XYZ三維運動掃描臺，平臺采用機構放大設計原理，中心具有通孔，非常適用于近場掃描、共焦顯微等應用。該系列掃描臺XY軸程可達500μm，Z軸直線運動行程可達800μm。中心通孔適配器為標準螺紋牙W0.8×1/36"，便于與顯微鏡集成安裝。可匹配蔡司、尼康、奧林巴斯、徠卡等多種標準鏡頭。平臺內部采用有限元分析（FEA）優化的線切割撓曲鉸鏈結構。FEA使其設計具有盡可能高的剛度，并使線性和角度跳動最小化。開環、閉環可選，真空版本可選。特點?XYZ三維直線運動?XY行程
2021
04-25

壓電陶瓷的“共振頻率”說明
壓電陶瓷是指把氧化物混合(氧化鋯、氧化鉛、氧化鈦等)高溫燒結、固相反應后而成的多晶體，并通過直流高壓極化處理使其具有壓電效應的鐵電陶瓷的統稱，是一種能將機械能和電能互相轉換的功能陶瓷材料。由于具有較好的力學性能和穩定的壓電性能，壓電陶瓷片作為一種重要的力、熱、電、光敏感功能材料，已經在傳感器、超聲換能器、微位移器和其它電子元器件等方面得到了廣泛的應用。隨著材料工藝的不斷研究和改良，以及電子、信息、航空航天等高科技領域日新月異的發展，作為含高智能新型材料的壓電陶瓷片的生產技術和應用開發是人們關注的
2021
04-25

壓電掃描平臺在激光直寫系統中的應用|光刻
激光直寫是利用強度可變的激光束對基片表面的抗腐蝕材料實施變劑量曝光，顯影后在抗腐蝕層表面形成所要求的浮雕輪廓，激光直寫系統的基本工作原理是由計算機控制高精度激光束掃描，在光刻膠上直接曝光寫出所設計的任意圖形，從而把設計圖形直接轉移到掩模上。激光直寫系統基本原理結構激光直寫系統的基本結構如圖1所示，主要由He-Cd激光器、聲光調制器、投影光刻物鏡、CCD攝像機、顯示器、照明光源、工作臺、調焦裝置、He-Ne激光干涉儀和控制計算機等部分構成。圖1激光直寫系統結構簡圖激光直寫的基本工作流程是：用計算機
2021
04-25

一維Z向小體積直線壓電平臺
P11.Z100為小體積一維Z向壓電平移臺，平臺內部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構，機構放大式驅動原理，內置高性能壓電陶瓷，可實現100μm位移。閉環版本定位精度可達納米級。采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統具有高的導向精度，具有高剛性、高負載、無摩擦、免維護等特點。壓電定位臺的控制精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級，定位穩定時間僅為毫秒量級，壓電定位臺為無磁材質，使用過程中不受磁場的影響，壓電定位臺體積小、結構緊湊易于集成。特點?一維Z向運動?位移可達100μm?體積小巧?毫秒級響
2021
04-20

納米定位臺是如何滿足納米調節使用的？
納米定位臺具有移動面，是通過帶有柔性鉸鏈的機械結構將壓電陶瓷產生的位移及出力等進行輸出，分直驅與放大兩種結構。以壓電陶瓷作為驅動源，結合柔性鉸鏈機構實現X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運動的壓電平臺，驅動形式包含壓電陶瓷直驅機構式、放大機構式。運動范圍可達500μm，具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點。納米定位臺內部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構，一體化的結構設計。機構放大式驅動原理，內置高性能壓電陶瓷，可實現100μm位移。閉環版本定位精度可達納米級。采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構，
2021
04-19

壓電陶瓷的靜態特性之壓電陶瓷的位移與出力
在無預緊力及恒定負載條件下，F=衡量壓電陶瓷在恒力或者恒定質量下，陶瓷被壓縮量的公式如下：（1.1）變化位移ΔL0的計算公式和無外力時是一樣的，見公式1.2。（1.2）如果施加的外力F的值過大，在沒有外加電壓的情況下，壓電陶瓷可能會發生退極化現象，這個影響主要取決于壓電陶瓷材料，我們可以通過施加電場的方式來對陶瓷重新極化，但施加外力F超過了陶瓷材料的限定值，陶瓷將不能被重新極化，還可能損壞內部的陶瓷薄片。因此，施加的外力不要超過陶瓷材料的臨界值。下圖為陶瓷在受到恒力的條件下，位移和電壓的關系。圖
2021
04-19

360°旋轉壓電馬達
N61系列360°旋轉壓電馬達是由壓電陶瓷驅動，利用特殊機械結構設計，將壓電陶瓷產生的直線微位移轉換為機械平面的宏觀角度旋轉運動。N61系列旋轉壓電馬達可產生360度旋轉運動，具有超高的旋轉分辨率，它的體積小巧，結構緊湊，非常適于集成，具有高性價比。特點?360度旋轉運動?位移增量為5μrad?速度可達5°/s?可上位機軟件控制技術參數型號：N61.R5K運動方向：360°，雙向速度上限：5°/s中心負載：5kg最小位移增量：5μrad最小刻度增量：2°電纜長度：1.2m工作溫度：10~40℃儲
2021
04-10

P60系列Z向大行程直線微運動平臺
P60系列Z向大行程直線微運動平臺P60.Z500是以壓電陶瓷為驅動源，并采用放大機構的一維Z向運動的大行程直線微運動平臺，是壓電與柔性鉸鏈相結合的納米定位系統，可達毫秒級響應、納米級定位精度，并可選配高精度傳感器進行閉環精密定位控制。該產品非常適于定位應用，如干涉中光路徑長度修正、顯微或掃描應用中的樣品定位等，已廣泛應用于干涉、顯微、精密加工等領域。P60.Z500系列壓電掃描臺，采用機構放大設計原理，可實現500μm的運動行程，優異的結構可承載2kg的負載，空載諧振頻率達290Hz。帶載階躍
2021
04-10

基于微位移技術提高CCD分辨率
在實際的應用中，特別是科研領域，經常需要較高分辨率的圖像，所以如何利用現有工藝水平下的CCD圖像傳感器件，獲得更高的分辨率就成了一個關鍵的問題。目前比較有效的一種方法是采用被攝物成的像與CCD圖像傳感器之間發生微小相對位移來記錄多幅圖像，然后利用多次采集的原始圖像來合成高分辨率的圖像。實際成像系統涉及光、電、機、算等多方面的內容，其系統組成如下圖所示。通過算法將多幅微位移圖像融合，在這過程中會將CCD圖像傳感器的固有誤差放大，會限制合成圖像的分辨率。CCD圖像傳感器微小位移的精確性直接影響超分辨
2021
04-06

快速激光束偏轉及掃描解決方案|壓電偏轉系統！
激光束偏轉及其掃描在半導體加工、航空航天、生物醫學、納米科學研究等領域得到了越來越多的應用，同時對其性能要求也越來越高，受其體積、掃描頻率、掃描精度、掃描分辨率等諸多因素的制約，傳統的掃描方式越來越難以滿足要求。目前反射式掃描成為主流，主要的掃描器有激光振鏡和快速偏擺鏡。振鏡具有很大的擺動角度但帶寬有限，在進行高頻掃描時掃描最大角度和線性度都會嚴重下降。基于音圈電機或壓電陶瓷驅動器的快速偏轉鏡具有很高的諧振頻率、掃描角度小、分辨率高、線性度好，一般應用于自適應光學、光束跟蹤和穩定等要求快速響應和
2021
04-06

芯明天壓電微定位技術
微定位技術是前沿技術之一，也是精密加工、精密測量、精密工程等微觀領域中的關鍵技術，在精密機械和精密儀器中應用廣泛。微動定位平臺是精密定位技術中的一項重要載體。直線運動壓電納米定位臺芯明天直線運動壓電納米定位臺以壓電陶瓷作為驅動源，結合柔性鉸鏈機構實現X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸的精密運動，具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點，可以實現納米級分辨率及定位精度且具有*的可靠性。中心通孔版本，非常適用于透光精密光學器件的定位與調整、生物顯微與光學顯微成像等系統。偏轉運動壓電納米定位臺芯明天偏轉
2021
04-06

壓電納米掃描系統在干涉測量系統中的應用！
壓電納米掃描系統是由精密壓電納米定位臺與壓電控制器組成，系統可完成單軸或多軸的納米精度的運動控制。下圖中為芯明天的一款小體積型Z向壓電納米掃描系統。干涉測量干涉測量是基于電磁波的干涉理論，通過檢測相干電磁波的干涉圖樣、頻率、振幅、相位等屬性，將其應用于各種相關測量的技術的統稱。用于實現干涉測量術的儀器被稱作干涉儀。在當今科研領域、工業領域等，干涉測量術都發揮著重要作用，包括天文學、光纖光學、工程測量學等。在干涉測量中常用的工具是邁克爾遜干涉儀，一般可將相干光源的單條入射光束分成兩條相同的光束。每
2021
03-29

小體積大負載壓電物鏡定位器
P76.Z50S/KA為小體積大負載Z軸壓電物鏡定位器，高度尺寸僅為37.5mm，負載能力可達500g，Z軸可實現50μm的直線運動范圍，采用柔性鉸鏈設計機構，無摩擦，直線性好，閉環版本定位精度高。分離式螺紋適配器設計，可適配多種型號的顯微鏡，是顯微成像、晶圓切割等應用的理想選擇。特性?行程可達50μm?承載能力500g?毫秒級響應時間?閉環重復定位精度高?聚焦穩定性好大負載高頻響高分辨率P76.Z50S/KA是為了實現大負載、大孔徑物鏡在現代高分辨率顯微應用中達到超快的階躍時間而專門設計。堅固
2021
03-29

影響壓電系統定位精度的因素！
我們知道壓電陶瓷的理論分辨率是可以達到無限小的，實際中取決于電源控制器和測試系統等因素。采用芯明天壓電控制系統，可達納米及亞納米級，適用于微納米范圍的高精度定位。由于壓電陶瓷存在遲滯和蠕變的特性，所以在陶瓷上所施加的電壓和得到的位移并不是*線性的，它們之間存在微小的偏移。在定位精度要求非常高的應用中，我們使用閉環控制系統來進行反饋控制。閉環控制一般我們使用電阻應變計作為反饋傳感器，精度可以達到滿行程的0.1-0.2%，對于更高精度需求，可以采用電容和電感式傳感器。我們開發的陶瓷測量系統和集成閉環
2021
03-18

壓電陶瓷驅動電源的系統電路設計
壓電陶瓷驅動器(PZT)是微位移平臺的核心，其主要原理是利用壓電陶瓷的逆壓電效應產生形變，從而驅動執行元件發生微位移。壓電陶瓷驅動器具有分辨率高、響應頻率快、推力大和體積小等優點，在航天、機器人、微機電系統、精密加工以及生物工程等領域中得到了廣泛的應用。然而壓電陶瓷驅動器的應用離不開性能良好的壓電陶瓷驅動電源。要實現納米級定位的應用，壓電陶瓷驅動電源的輸出電壓需要在一定范圍內連續可調，同時電壓分辨率需要達到毫伏級。因此壓電陶瓷驅動電源技術已成為壓電微位移平臺中的關鍵技術。壓電陶瓷驅動器基于ARM
2021
03-13

壓電陶瓷的靜態特性
1.1出力和位移的關系位移△L0：是壓電陶瓷產生的位移，這個數值是在空載條件下測得，即在壓電陶瓷產生位移過程中不受任何阻力。對陶瓷施加電壓后，測得相應位移。出力Fmax：是壓電陶瓷產生的大出力，這個數值是壓電陶瓷在位移為0時，測得的出力，即抵抗大剛度負載的推力。kA=Fmax/△L0假設把陶瓷固定在兩面墻之間，施加大電壓給壓電陶瓷，由于兩面墻的剛度很大，壓電陶瓷無法伸長，位移為零，這時的出力為大出力。但是事實上，任何物體都會表現出一定的彈性模量，這里我們把墻的彈性忽略不計。當外部機械結構的剛度為

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