CCD型系列電動超高真空插板閥是用電動執(zhí)行機構(gòu)為動力,通過遠程控制箱控制電機旋轉(zhuǎn)方向,通過傳動桿推(拉)動連桿機構(gòu),驅(qū)動閥板沿軸向運動,實現(xiàn)閥板開啟或關(guān)閉,從而達到在超真空系統(tǒng)中接通或切斷氣流的目的。在結(jié)構(gòu)設計上合理,在外觀上美觀,并具有動作平穩(wěn),體積小,流量大,使用可靠,密封性能好和壽命長等優(yōu)點,能廣泛應用于超高真空設備中。
適用的工作介質(zhì)為潔凈的空氣及非腐蝕性氣體。
適用范圍(Pa) | 105~1.3×10-7 |
閥門漏率(Pa.L/S) | ≤1.3×10-7 |
≤1.3×10-7 | |
閥門烘烤溫度(℃) | ≤ 150(除傳動裝置外) |
開閥時閥板兩側(cè)壓力差(Pa) | ≤3×103 |
電源壓力 | AC220V/50Hz |
開啟或關(guān)閉時間S | ≤50 |
型號 | H | C | D | B | L | n-d | 法蘭標準 |
CCD-63 | 65 | 105 | 114 | 92.1 | 566 | 8-M8 | GB6071 |
CCD-80 | 65 | 130 | 130 | 110 | 603 | 16-M8 | GB6071 |
CCD-100 | 70 | 150 | 150 | 130.2 | 653 | 16-M8 | GB6071 |
CCD-150 | 70 | 202 | 202 | 181 | 771 | 20-M8 | GB6071 |
CCD-200 | 80 | 251 | 253 | 231.8 | 889 | 24-M8 | GB6071 |
CCD-250 | 85 | 300 | 314 | 288 | 1127 | 24-M10 | GB5278 |
CCD-300 | 85 | 352 | 365 | 338 | 1197 | 32-M10 | GB5278 |
CCD-320 | 85 | 372 | 385 | 357 | 1197 | 36-M10 | GB5278 |
CCD-400 | 110 | 456 | 497 | 45 | 1666 | 36-M12 | GB5278 |