日揚(yáng)矩形閥在分子束外延設(shè)備MBE上的應(yīng)用

國(guó)際上比較專業(yè)的大型MBE設(shè)備供應(yīng)商主要有，美國(guó)的Vecco，法國(guó)的Riber，芬蘭的DCA等。這幾家從實(shí)驗(yàn)室用的小型MBE，到工業(yè)相關(guān)的英寸級(jí)別的圓晶MBE都有供應(yīng)。并且能提供一定的工藝解決方案。

一些超高真空表面科學(xué)的供應(yīng)商，因?yàn)橛脩粲羞M(jìn)行MBE生長(zhǎng)的需要，也會(huì)提供MBE解決方案，比如德國(guó)/瑞典的Scienta Omicron，德國(guó)的Createc，波蘭的PreVac等。其中，Scienta Omicron的產(chǎn)品線更全一些，從10*10 mm到圓晶都有，印象中其他幾家集中在科研用10*10 mm上。這幾家供應(yīng)商一般不能提供生長(zhǎng)工藝上的支持。

還有一家比較特殊的是德國(guó)的Dr. Eberl MBE-Komponenten，印象中只在科研界見過他們的產(chǎn)品，在企業(yè)專注在MBE上，也是10*10到圓晶都有。并為部分其他供應(yīng)商提供源爐。

最近歐美對(duì)中國(guó)的MBE系統(tǒng)的出口審查日趨嚴(yán)格，于是國(guó)內(nèi)從事MBE制造的企業(yè)就有了進(jìn)步的動(dòng)力，北京的中科艾科美、上海費(fèi)勉、上海實(shí)路、大連齊維、蘇州華陽賽斯、沈陽科儀、常州國(guó)成、蘇州焜原等。都在使用或者選型日揚(yáng)的矩形閥門。

最終MBE產(chǎn)品的質(zhì)量和上下游產(chǎn)業(yè)也密切相關(guān)。追求極限真空時(shí)，腔體本身的鋼材品質(zhì)和放氣程度就變得重要，這是和整個(gè)工業(yè)體系相關(guān)的。其中，日揚(yáng)的矩形真空閥門質(zhì)量YILIU，經(jīng)受了市場(chǎng)的反復(fù)檢測(cè)，值得信賴！

MBE可能是超高真空設(shè)備中WEIYI和實(shí)際生產(chǎn)聯(lián)系緊密的。MBE技術(shù)最大的優(yōu)點(diǎn)是生長(zhǎng)速度慢、結(jié)構(gòu)控制精確。但這同樣也是它最大的缺點(diǎn)，對(duì)工業(yè)生產(chǎn)來說，它實(shí)在太慢了。也許只能通過生長(zhǎng)高附加值產(chǎn)品，或者多臺(tái)設(shè)備同時(shí)開工來克服了這一短板，日揚(yáng)真空閥門現(xiàn)在有優(yōu)惠的批量?jī)r(jià)格，降低設(shè)備成本，滿足市場(chǎng)的需求！

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作者：深圳市科銳詩汀科技有限公司真空技術(shù)中心

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