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R-200 Advance 原子層沉積系統(tǒng)

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時(shí)間2024-08-11
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)上海
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量167
  • 人氣值1046
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上海德竹芯源科技有限公司是一家專注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領(lǐng)域的設(shè)備銷售、系統(tǒng)集成、設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的公司。主要為高校、研究所、中試量產(chǎn)線及晶圓FAB廠提供半導(dǎo)體工藝設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備、封裝設(shè)備、測(cè)試設(shè)備。目前公司已成為國(guó)內(nèi)少數(shù)幾家專業(yè)提供半導(dǎo)體工藝、檢測(cè)、封裝、測(cè)試整體解決方案的企業(yè)。公司主要成員為復(fù)旦大學(xué)、上海微系統(tǒng)所等半導(dǎo)體相關(guān)專業(yè)博士,擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)過(guò)硬的團(tuán)隊(duì)。能夠出色地完成售前售中、售后的服務(wù)。目前公司已與眾多國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等),致力于根據(jù)用戶的科研方向和量產(chǎn)的器件類別提供相應(yīng)的全套設(shè)備選型和工藝整體解決方案。
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Picosun R-200 系列原子層沉積系統(tǒng)是一款多功能的原子層沉積平臺(tái),是用于研發(fā)的理想選擇,適用于 IC 器件、MEMS 器件、顯示器、LED、激光器以及透鏡、光學(xué)部件、珠寶、硬幣、醫(yī)療植入物等 3D 部件的研發(fā)。
R-200 Advance 原子層沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

適用 2 - 8 inch 晶圓,156mm × 156mm 太陽(yáng)能硅片

可適用于多孔,通孔,高深寬比樣品(可達(dá) 1 : 2500)

工藝溫度:50 - 500℃

Advance 型號(hào)配有等離子處理系統(tǒng),工藝溫度 450℃(可選配特定chuck盤至 650℃)

適用鍍膜種類:Al2O3,TiO2,SiO2,Ta2O5,HfO2,ZnO,ZrO2AlN,TiN,Pt,Ir 等

手動(dòng)上料,可選配機(jī)械臂,搬運(yùn)機(jī)器人或 Cassette-to-Cassette 上料

前驅(qū)體種類:液體、固體、氣體、臭氧源、等離子體等

關(guān)鍵詞:搬運(yùn)機(jī)器人
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