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MiniLab-60T PVD 薄膜沉積系統(tǒng)

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  • 型號
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  • 更新時(shí)間2024-04-03
  • 廠商性質(zhì)其他
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  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量312
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杭州大華儀器制造有限公司坐落于杭州市富陽區(qū)美麗的富春江畔、《富春山居圖》 的實(shí)景地、誕生地、經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)-----東洲工業(yè)功能區(qū)內(nèi),處在國家黃金旅游線”錢塘江- 富春江千島湖-黃山”的中心位置。公司始創(chuàng)于1993年,廠區(qū)建筑面積35000多平方米,是一家倡導(dǎo)服務(wù),集科研、生產(chǎn)、銷售于-體的國家重點(diǎn)扶持企業(yè)。二十多年來-直致力于大學(xué)物理實(shí)驗(yàn)教學(xué)儀器、科研儀器設(shè)備的研發(fā)生產(chǎn)和銷售,形成了以8大系列400余種專業(yè)物理實(shí)驗(yàn)儀器設(shè)備為主,電工儀器為輔,配套設(shè)備為支撐的產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)。2010年,公司研發(fā)中心被評為以“科教儀器為主要研究方向”的省級企業(yè)研發(fā)中心,2016年被杭州授予“杭州市院士工作站”。2017年,被省委認(rèn)定為“省級院士工作站”。公司以“科技締造未來”為企業(yè)理念,重視科技創(chuàng)新和產(chǎn)學(xué)研合作、重視人才的引進(jìn)與培養(yǎng),2000年以來與中科院固體物理研究所、清華大學(xué)、浙江大學(xué)、華中科技大學(xué)、四川大學(xué)、天津師范大學(xué)、西安交通大學(xué)、西北工業(yè)大學(xué)、武漢工程大學(xué)等20多家高等院校和科研院所建立了穩(wěn)定的產(chǎn)學(xué)研合作關(guān)系、大學(xué)生實(shí)踐基地,在功能材料科教儀器設(shè)備及測試技術(shù)、等離子體技術(shù)應(yīng)用、大學(xué)物理設(shè)計(jì)創(chuàng)新、新能源產(chǎn)業(yè)等領(lǐng)域開展了廣泛的科技創(chuàng)新合作。公司累計(jì)獲得國家100余項(xiàng),在全國高校物理實(shí)驗(yàn)儀器評比中,共獲得四項(xiàng)-等獎,十二項(xiàng)二等獎,十五項(xiàng)三等獎的榮譽(yù)。并相繼獲得了“ 全國名優(yōu)產(chǎn)品售后服務(wù)*單位”、“ 中國質(zhì)量信用AA單位”、“ 浙江省示范企業(yè)”、“ 浙江省民營經(jīng)濟(jì)示范企業(yè)”、、“杭州” 等榮譽(yù)稱號,連續(xù)多年列入“中國高教儀器設(shè)備發(fā)展情況年度報(bào)告”設(shè)備選購?fù)扑]企業(yè)之一, 國歡迎的實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備企業(yè)之一。以“用戶至上,服務(wù)滿意,質(zhì)量為本,科學(xué)管理”為企業(yè)宗旨, 嚴(yán)格執(zhí)行"IS09001: 2015國際質(zhì)量管理體系” 的標(biāo)準(zhǔn),導(dǎo)入3Q6S精細(xì)化管理模式,注重- -切流程以用戶滿意為標(biāo)準(zhǔn), 精益求精,持續(xù)提高產(chǎn)品的品質(zhì)。我們的服務(wù)和產(chǎn)品現(xiàn)已遍布國內(nèi)外兩千余所大專院校、科研院所和工業(yè)企業(yè),并出口美國、法國、東南亞、中東、古巴等國家和地區(qū)。
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應(yīng)用領(lǐng)域:適用于實(shí)驗(yàn)室制備金屬單質(zhì)膜、半導(dǎo)體膜、鈣鈦礦太陽能電池、鋰電池、有機(jī)膜等,用于鍍制低熔點(diǎn)金屬及合金材料薄膜,單層/多層/復(fù)合膜,例:銅、鎂、鋁、金、銀、鋇、鉍、鋅、銻等;用于太陽能電池、LED的研究和實(shí)驗(yàn)
MiniLab-60T PVD 薄膜沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

應(yīng)用領(lǐng)域:

適用于實(shí)驗(yàn)室制備金屬單質(zhì)膜、半導(dǎo)體膜、鈣鈦礦太陽能電池、鋰電池、有機(jī)膜等 , 用于鍍制低熔點(diǎn)金屬及合金材料薄膜,單 / 多層 / 復(fù)合膜,例:銅、鎂、鋁、金、銀、鋇、鉍、鋅、銻等;用于太陽能電池、LED 的研究和實(shí)驗(yàn)。用于有機(jī)材料等蒸發(fā); 鍍制非金屬 / 化合物等材料薄膜等

 MiniLab 60G熱蒸發(fā).jpg

基本配置:

真空腔室: D 型圓筒形,尺寸約 ф450×H450mm,前開門結(jié)構(gòu);采用鉸鏈、鋁制前門,手動,上下 2 個杠桿把手,膠圈密封, 腔體內(nèi)表面采用電解拋光處理;外表面采用拉絲拋光,無擦傷及劃痕。 

抽氣系統(tǒng):采用復(fù)合分子泵 + 直聯(lián)旋片泵作為真空抽氣系統(tǒng); 主抽泵:分子泵抽速≥ 1200L/S,氮?dú)鈮嚎s比≥ 109 前級泵:VRD-30 機(jī)械泵及電磁閥,抽速:8L/S 主抽閥: CCQ-200 超高真空氣動插板閥 

* 真空系統(tǒng)可以升級為進(jìn)口分子泵和渦旋干泵。 

真空測量:數(shù)顯復(fù)合真空計(jì):兩低一高全量程數(shù)顯復(fù)合真空計(jì); 

* 真空測量可以升級為進(jìn)口全量程冷陰極真空計(jì) 

極限真空:<5×10-5Pa 

恢復(fù)真空:<6.7×10-4Pa(< 45 min) 

蒸發(fā)源(選配): 金屬蒸發(fā)源:4 組金屬蒸發(fā)源在腔體底部呈發(fā)散形分布 , 相互間擋板隔開 , 避免交叉污染,兼容金屬和有機(jī)材料蒸鍍; 爐:4 組有機(jī)蒸發(fā)源,坩堝容量(2CC),角度 0-30 度可調(diào),溫度:700,控制精度 ±0.5 

蒸發(fā)電源:采用恒壓、恒流真空鍍膜電源,功率 2.4Kw;電流調(diào)節(jié)精度 0.01A,電壓調(diào)節(jié)精度 0.001V,數(shù)量:2 有機(jī)物蒸發(fā)電源:采用 10V30A 穩(wěn)流電源,電流調(diào)節(jié)精度:0.01A,最小分辨率:0.1mV0.1mA 數(shù)量:2  

樣品臺:可容納樣品尺寸:6 英寸樣品托一個 , 配擋板,轉(zhuǎn)速 0-30rpm 連續(xù)可調(diào) ; 樣品可加熱控溫,溫度范圍:室 -600,控溫精度 ±0.5( 可選帶掩膜庫系統(tǒng)樣品臺

膜厚監(jiān)測儀:采用 Inficon SQM-160 速率 / 膜厚監(jiān)測儀,配 1 個水冷探頭。在線監(jiān)測蒸發(fā)速率與達(dá)到膜厚關(guān)閉基片擋板。 

控制單元:15 英寸觸摸屏 +PLC 控制

選擇配置:

樣品臺可水冷,采用直接式水冷形式,水冷不控溫 

可選薄膜鍍層控制儀(SQC-310 

可選進(jìn)口蒸發(fā)電源 

全量程真空計(jì) (Inficon) 

樣品托 : 不銹鋼、鋁或銅,基片盤上有螺紋孔

系統(tǒng)要求標(biāo)準(zhǔn)配置:

工藝氣體 :25psi,純度 99.99% 以上 

工作氣體 : 干燥壓縮空氣、氮?dú)?/span> 

: 三相 380V, 50Hz, 32A 

:18-25 , 6L/min,壓力 <0.4MPa



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