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MiniLab-125 PVD 薄膜沉積系統(tǒng)

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  • 型號(hào)
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  • 更新時(shí)間2024-04-03
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)杭州市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量312
  • 人氣值3611
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杭州大華儀器制造有限公司坐落于杭州市富陽區(qū)美麗的富春江畔、《富春山居圖》 的實(shí)景地、誕生地、經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)-----東洲工業(yè)功能區(qū)內(nèi),處在國家黃金旅游線”錢塘江- 富春江千島湖-黃山”的中心位置。公司始創(chuàng)于1993年,廠區(qū)建筑面積35000多平方米,是一家倡導(dǎo)服務(wù),集科研、生產(chǎn)、銷售于-體的國家重點(diǎn)扶持企業(yè)。二十多年來-直致力于大學(xué)物理實(shí)驗(yàn)教學(xué)儀器、科研儀器設(shè)備的研發(fā)生產(chǎn)和銷售,形成了以8大系列400余種專業(yè)物理實(shí)驗(yàn)儀器設(shè)備為主,電工儀器為輔,配套設(shè)備為支撐的產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)。2010年,公司研發(fā)中心被評(píng)為以“科教儀器為主要研究方向”的省級(jí)企業(yè)研發(fā)中心,2016年被杭州授予“杭州市院士工作站”。2017年,被省委認(rèn)定為“省級(jí)院士工作站”。公司以“科技締造未來”為企業(yè)理念,重視科技創(chuàng)新和產(chǎn)學(xué)研合作、重視人才的引進(jìn)與培養(yǎng),2000年以來與中科院固體物理研究所、清華大學(xué)、浙江大學(xué)、華中科技大學(xué)、四川大學(xué)、天津師范大學(xué)、西安交通大學(xué)、西北工業(yè)大學(xué)、武漢工程大學(xué)等20多家高等院校和科研院所建立了穩(wěn)定的產(chǎn)學(xué)研合作關(guān)系、大學(xué)生實(shí)踐基地,在功能材料科教儀器設(shè)備及測試技術(shù)、等離子體技術(shù)應(yīng)用、大學(xué)物理設(shè)計(jì)創(chuàng)新、新能源產(chǎn)業(yè)等領(lǐng)域開展了廣泛的科技創(chuàng)新合作。公司累計(jì)獲得國家100余項(xiàng),在全國高校物理實(shí)驗(yàn)儀器評(píng)比中,共獲得四項(xiàng)-等獎(jiǎng),十二項(xiàng)二等獎(jiǎng),十五項(xiàng)三等獎(jiǎng)的榮譽(yù)。并相繼獲得了“ 全國名優(yōu)產(chǎn)品售后服務(wù)*單位”、“ 中國質(zhì)量信用AA單位”、“ 浙江省示范企業(yè)”、“ 浙江省民營經(jīng)濟(jì)示范企業(yè)”、、“杭州” 等榮譽(yù)稱號(hào),連續(xù)多年列入“中國高教儀器設(shè)備發(fā)展情況年度報(bào)告”設(shè)備選購?fù)扑]企業(yè)之一, 國歡迎的實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備企業(yè)之一。以“用戶至上,服務(wù)滿意,質(zhì)量為本,科學(xué)管理”為企業(yè)宗旨, 嚴(yán)格執(zhí)行"IS09001: 2015國際質(zhì)量管理體系” 的標(biāo)準(zhǔn),導(dǎo)入3Q6S精細(xì)化管理模式,注重- -切流程以用戶滿意為標(biāo)準(zhǔn), 精益求精,持續(xù)提高產(chǎn)品的品質(zhì)。我們的服務(wù)和產(chǎn)品現(xiàn)已遍布國內(nèi)外兩千余所大專院校、科研院所和工業(yè)企業(yè),并出口美國、法國、東南亞、中東、古巴等國家和地區(qū)。
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應(yīng)用領(lǐng)域:電子束蒸發(fā)可以蒸發(fā)高熔點(diǎn)材料,比一般電阻加熱蒸發(fā)熱效率高、束流密度大、蒸發(fā)速度快,制成的薄膜純度高、質(zhì)量好,厚度可以較準(zhǔn)確地控制,可以廣泛應(yīng)用于制備高純薄膜和導(dǎo)電玻璃等各種光學(xué)材料薄膜
MiniLab-125 PVD 薄膜沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

應(yīng)用領(lǐng)域:

電子束蒸發(fā)可以蒸發(fā)高熔點(diǎn)材料,比一般電阻加熱蒸發(fā)熱效率高、束流密度大、蒸發(fā)速度快,制成的薄膜純度高、質(zhì)量好,厚 度可以較準(zhǔn)確地控制,可以廣泛應(yīng)用于制備高純薄膜和導(dǎo)電玻璃等各種光學(xué)材料薄膜。

MiniLab 125  PVD 薄膜沉積系統(tǒng)(電子束1).jpg

基本配置:

真空腔室:500mm×650mm 不銹鋼 D 形腔體。前門鉸鏈方便真空室清理;腔室底板,頂部和側(cè)面裝有腔室內(nèi)硬件接口; 前門上配直徑 80 玻璃觀察窗(含手動(dòng)防污染擋板、可拆洗防污玻璃);腔體水冷。 

抽氣系統(tǒng):采用復(fù)合分子泵 + 直聯(lián)旋片泵作為真空抽氣系統(tǒng); 主抽泵:分子泵抽速≥ 1200L/S,氮?dú)鈮嚎s比≥ 109 前級(jí)泵:VRD-30 雙極旋片泵及電磁閥,抽速:8L/S 主抽閥:CCQ-200 超高真空氣動(dòng)插板閥 

* 真空系統(tǒng)可以升級(jí)為進(jìn)口分子泵和渦旋干泵。 

真空測量: 數(shù)顯復(fù)合真空計(jì):兩低一高全量程數(shù)顯復(fù)合真空計(jì); 

* 真空測量可以升級(jí)為進(jìn)口全量程冷陰極真空計(jì) 

極限真空:<5×10-5Pa 恢復(fù)真空:<6.7×10-4Pa(< 45 min) 

電子束蒸發(fā)源:電子槍采用磁流體密封,安裝在腔室底部靠中心位置。 高壓電壓:DC-3KV -10KV(可設(shè)) 電流:0-1000mA(此時(shí)的加速電壓是 -10kV 加速功率:10KW;電子束偏轉(zhuǎn)角:270°(永磁鐵) 

坩堝:配直徑 160mm 6 穴直冷坩堝一套,電動(dòng)轉(zhuǎn)位和點(diǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)位,定位精準(zhǔn)。單穴容量≥ 20cc 

薄膜鍍層控制儀: Inficon SQC-310 在線測量膜厚,可以實(shí)時(shí)測量蒸發(fā)的速度和厚度,帶有 PID 控制功能, 可通過膜厚儀自動(dòng)控制蒸鍍速率。 

樣品臺(tái):可容納樣品尺寸,6 英寸樣品托一個(gè) , 配擋板,轉(zhuǎn)速 0-30rpm 連續(xù)可調(diào) ; 采用基片臺(tái)背板直接水冷形式;基片采用無氧銅,水冷不控溫。 

控制單元:15 英寸觸摸屏 +PLC 控制

選擇配置:

樣品可加熱控溫,( 可選帶掩膜庫系統(tǒng)樣品臺(tái) ) 溫度范圍:室溫 -600,控溫精度 ±0.5 

電子槍可選用進(jìn)口品牌 

離子束輔助沉積源 

全量程真空計(jì) (Inficon)

系統(tǒng)要求標(biāo)準(zhǔn)配置:

工藝氣體 :25psi,純度 99.99% 以上 

工作氣體 : 干燥壓縮空氣、氮?dú)?/span> 

: 三相 380V, 50Hz, 63A 

  :18-25 , 6L/min,壓力 <0.4MPa


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