氣體質量流量控制器ZHC09
產品特性：
*支持多種通訊協議
*高精度、高穩定性
*可控制多種氣體
*可選配控制設備同時控制多臺
*可控制瞬時流量和累積流量
*安裝容易 操作簡單 方便維護
應用領域：
*分析儀器 *生物技術 *真空鍍膜
*氣相色譜 *激光焊機 *化學化工實驗室
安裝尺寸：
技術參數：
1 | 流量規格 | （0^5、10、50、100、300、500）SCCM , （1、2、3、4、5）SLM |
2 | 控制和顯示精度 | 0.1sccm |
3 | 準確度 | + 0.5% F.S. |
4 | 線性度 | + 1% F.S. |
5 | 重復精度 | + 0.5% F.S. |
6 | 響應時間 | < 1s |
7 | 工作壓差 | 0--1MPa |
8 | 耐壓 | 1.1MPa |
9 | 環境溫度 | 0-70℃ |
10 | 電氣連接 | Db9(公頭) |
11 | 供電電源 | 15-40VDC |
12 | 模擬量 | DC 0-5V |
13 | 數字量 | RS485、RS232、RS422、CAN總線 |
14 | 氣路接頭 | 4mm、6mm、M8*1 |
15 | 氣路管徑 | 3mm、3.2mm、4mm、6mm |
16 | 氣體種類 | Air He Ar N2 O2 H2 NO CO CH4 CO2 NO2 N2O NH3 |
電氣連接：
RS485 | RS232 | RS422 | CAN總線 | |
PIN 1 | VCC | VCC | VCC | VCC |
PIN 2 | Set | Set | Set | Set |
PIN 3 | Moniter | Moniter | Moniter | Moniter |
PIN 4 | None | None | Z | None |
PIN 5 | GND | GND | GND | GND |
PIN 6 | None | None | Y | None |
PIN 7 | B | TX | B | CANH |
PIN 8 | A | RX | A | CANL |
PIN 9 | DGND | DGND | DGND | DGND |
產品型號表示：
ZHC09-①-②-③
注： ①=數字協議（RS485/RS232/RS422/CAN），
②=氣體類別（Ar/O2/H2/CO2/Air等）
③=流量量程
范例：ZHC09-RS485-Air-500
