MFC的控制器儀表是專門針對本公司產品ZHC09開發的一款氣體瞬時流量/流量累積量控制的工控產品,與MFC配合使用可以手動/自動控制氣體瞬時流量輸出,
手動/自動循環控制氣體流量累積量的輸出,含一路可編程的輸入控制端口,一可編程的LED和一固定的LED顯示。
一個儀表可以同時控制及顯示最多16臺MFC,相對MFC的配置支持掉電保存。
機械尺寸
技術指標
瞬時流量控制范圍:0~500sccm
瞬時流量控制及顯示精度:0.1sccm
累積流量控制范圍:0~65L
累積流量控制及顯示精度:1mL
環境溫度:0~65℃
通訊協議:CAN總線(帶電氣隔離)
輸入控制:光電隔離輸入
輸出控制:集電極開路輸出
電源:8~40VDC