簡介: 高精度 X- Y- Z- R- (T) 五自由度納米手。圖中所示五自由度納米手應用非常廣泛,除可用于FIB薄片取出器外(薄片用于TEM觀測),還可進行任何其它的納米級操縱實驗。
產品概述:FIB薄片取出器
移動范圍:
X = 20 mm, Y = 20 mm, Z = 5mm,
R = unlimited, T = ± 10° (manual tilt variation).
可根據需求定制更大的移動范圍或更多的活動軸(自由度)。
集成的線性編碼器讓用戶任意時刻都能掌握納米手的確切位置,該特點非常有利于針尖向感興趣點的移動過程。 而且,位置點參數可以存儲并調用,方便重復利用。
得益于嚴格的正交機械軸設計,用戶進行操作時非常簡易直觀。
產品規格:
材質: | 鋁, 不銹鋼, 陶瓷 |
尺寸(mm, L x B x H): 重量: | ˜ 40 x 54 x 35 (cross table) ~100g. |
移動范圍(mm): | 20 x 20 x 20 (XYZ-Modul) |
移動精度: | < 10 nm |
移動速度范圍: | 1000 µm/sec*. – 0,001 µm/sec. |
位置確定: | 線性編碼器 |
控制器: | 微處理器控制器, 搖桿 |
外罩: | 桌面盒子
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