納米機械手、納米操縱儀簡介： 結(jié)合掃描電鏡或光學(xué)顯微鏡，該納米操縱儀（納米機械手）可實現(xiàn)原位的納米級操縱、移動、切割、焊接、力學(xué)性能測量、電學(xué)性能測量等各種實驗，廣泛應(yīng)用于納米機器人、材料科學(xué)、生命科學(xué)、半導(dǎo)體等各領(lǐng)域。

產(chǎn)品概述：納米機械手、納米操縱儀

TNI LF系列納米機械手是市面上自動化程度的納米操作儀器。它具有定位精度高、重復(fù)精度高、基本無漂移、閉環(huán)控制等優(yōu)點。

除可配備鎢探針外，還可選配納米鑷子、納牛級力學(xué)傳感器、MEMS加熱模塊等各種附件。

性能指標

系統(tǒng)整體

系統(tǒng)尺寸：13´13´2.5厘米

機械手數(shù)量： 1 – 4 個

機械手粗動

移動方式：粘滑運動

移動范圍： 10 mm in XY, 5 mm in Z

大移動速度： >3 mm/sec

小移動步幅： <100 nm

機械手微動

移動方式：無摩擦柔性鉸鏈

移動范圍： 20 μm in XYZ

大移動速度： >45 μm/sec

開環(huán)移動精度： 0.1 nm

閉環(huán)移動精度： 1 nm

準確性：<5 nm

漂移： <0.35 nm/minute

軟件功能

探針自動移動至鼠標劃過的任意位置

探針移動速度隨電鏡圖像放大倍數(shù)自動調(diào)整

探針坐標位置的存在/調(diào)用

探針位置實時3D 顯示

傳感器自動校準

等等