高等院校及研究所常用高溫真空坩堝爐分為常規和真空兩種。真空坩堝爐主要是由一套密封的腔體和真空系統以及其它組成。真空坩堝爐適用于煅燒真空或惰性氣體中的高純度化合物，退火或擴散半導體晶片，也可用于烘燒或燒結陶瓷材料。中小型機件的散熱處理。具有爐溫均勻，溫控精度高，裝載料方便，操作簡單易學，生產率高。
高等院校及研究所常用高溫真空坩堝爐膛大小根據物料大小設計定制。
真空爐由爐體、爐膽、真空系統、冷卻水系統、控制系統及輔助設備組成。
爐體
爐體由加熱室爐殼、爐門和冷卻室爐殼、爐門組成。爐殼真空室內接縫采用二保焊，并進行去應力處理，以保證真空性能。
爐殼
爐殼為圓形、雙層水冷碳鋼結構，夾層內通冷卻水。兩端與加工過的法蘭焊接。雙層水冷碳鋼結構，兩端與加工過的法蘭焊接。
爐門
- 爐門為雙層水冷碳鋼結構并帶經加工過的法蘭。
- 爐門與爐殼鉸鏈連接，開啟靈活。
- 爐門的鎖緊采用卡環鎖緊結構。
- 在取放零件時，開啟爐門，手動將零件直接送入爐內。
- 爐殼與爐門的密封采用真空密封圈。
連接接口
爐體提供了用于與其它系統連接的接口，如熱電偶、真空系統、水冷卻系統和爐溫均勻性測試接口和爐溫測試組件等。
爐膽
加熱元件
電阻絲爐頂和兩側加熱，多方向輻射確保加熱均勻。
隔熱材料
由多晶莫來石纖維組成。安裝在一個加熱區支撐結構內，保證*使用。
支撐件
保溫層外側用304不銹鋼全包裹，易于拆卸和安裝。
模塊化設計
加熱和保溫部分采用一體化設計，便于進行維護和保養。爐膽采用整體式結構，設備維修時，可整體取出。
- 真空系統
真空系統傻瓜式操作，開啟即可自動自動維持真空狀態。全自動運行的真空系統基本包括：
- 中真空泵系統：由機械泵組成；
- 連接管道、儀表及閥：主真空閥用法蘭安裝在爐殼的抽氣管道上，將泵與爐殼分離。管道的柔性連接可防止振動傳遞。
