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儀表網(wǎng)>全部分類 >測(cè)量/計(jì)量 >表面測(cè)量?jī)x器 >臺(tái)階儀 返回產(chǎn)品中心
臺(tái)階儀

臺(tái)階儀屬于接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x器。根據(jù)使用傳感器的不同,接觸式臺(tái)階測(cè)量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測(cè)量原理是:當(dāng)觸針沿被測(cè)表面輕輕滑過時(shí),由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí),還沿峰谷作上下運(yùn)動(dòng)。觸針的運(yùn)動(dòng)情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號(hào)經(jīng)測(cè)量電橋后,輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信號(hào)。經(jīng)放大與相敏整流后,可將位移信號(hào)從調(diào)幅信號(hào)中解調(diào)出來,得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號(hào)。再經(jīng)噪音濾波器、波度濾波器進(jìn)一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號(hào)

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  • 精密接觸式臺(tái)階儀

    NS系列精密接觸式臺(tái)階儀是一款為高精度微觀形貌測(cè)量設(shè)計(jì)的超精密接觸式儀器,通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協(xié)同工作,結(jié)合亞埃級(jí)分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準(zhǔn)測(cè)量臺(tái)階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數(shù))、膜層厚度及應(yīng)力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。
  • 納米級(jí)臺(tái)階儀

    NS系列納米級(jí)臺(tái)階儀線性可變差動(dòng)電容傳感器(LVDC),具有亞埃級(jí)分辨率,13μm量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。
  • 接觸式表面形貌臺(tái)階儀

    NS系列接觸式表面形貌臺(tái)階儀主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。單拱龍門式設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對(duì)測(cè)量信號(hào)的影響,提高了測(cè)量精度。
  • 高精度探針接觸式臺(tái)階儀

    NS系列高精度探針接觸式臺(tái)階儀單拱龍門式設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對(duì)測(cè)量信號(hào)的影響,提高了測(cè)量精度。線性可變差動(dòng)電容傳感器(LVDC),具有亞埃級(jí)分辨率,13μm量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。
  • 探針式薄膜厚度臺(tái)階儀

    NS系列探針式薄膜厚度臺(tái)階儀通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協(xié)同工作,結(jié)合亞埃級(jí)分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準(zhǔn)測(cè)量臺(tái)階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數(shù))、膜層厚度及應(yīng)力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。
  • 高精度探針式臺(tái)階儀

    NS系列高精度探針式臺(tái)階儀主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。單拱龍門式設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對(duì)測(cè)量信號(hào)的影響,提高了測(cè)量精度。
  • 探針式接觸臺(tái)階高度儀

    NS系列探針式接觸臺(tái)階高度儀應(yīng)用場(chǎng)景適應(yīng)性強(qiáng),其對(duì)被測(cè)樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位,其對(duì)表面微觀形貌參數(shù)的準(zhǔn)確表征,對(duì)于相關(guān)材料的評(píng)定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。
  • 國產(chǎn)高精度臺(tái)階儀

    NS系列國產(chǎn)高精度臺(tái)階儀采用了磁吸式測(cè)針,當(dāng)需要執(zhí)行換針操作時(shí),可現(xiàn)場(chǎng)快速更換掃描測(cè)針,并根據(jù)軟件中的標(biāo)定模塊進(jìn)行快速標(biāo)定,確保換針后的精度和重復(fù)性,減少維護(hù)煩惱。
  • 中圖儀器國產(chǎn)臺(tái)階儀

    中圖儀器國產(chǎn)臺(tái)階儀NS系列是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x器。它采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率,同時(shí),其集成了超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性。
  • 納米級(jí)臺(tái)階高度儀

    NS系列納米級(jí)臺(tái)階高度儀線性可變差動(dòng)電容傳感器(LVDC),具有亞埃級(jí)分辨率,13μm量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。
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