激光干涉儀發展
2020-11-25標簽：激光干涉儀
激光干涉儀的發展：
一般來說，只要是利用光干涉的原理來測量的儀器都可以稱為干涉儀。光干涉測量可以追溯到17世紀下半葉，那時的牛頓環干涉測量就是zui早的干涉儀。但是直到19世紀波動理論被廣泛接受以后，干涉測量技術才得到真正發展。1883年，物理學家邁克爾遜與莫雷合作設計制造了*臺用于精密測量的干涉儀——邁克爾遜干涉儀。
1896年，瑞利為測量氬和氦的折射率，用咭氏雙縫干涉原理設計制作了瑞利干涉儀。在干涉測量中，被測信息是以光學條紋的形式表征的，相干光光程差的任何變化會非常靈敏地導致干涉條紋的移動，干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所無法比擬的。
20世紀中期，激光器的發明和微電子技術的發展為干涉測量技術提供了新的物質基礎，使其進人一個新的發展時期。激光的高度相干性使它一經發明就成為光波干涉儀的光源，經過多年的發展，激光干涉儀已經走出實驗室，成為可以在生產車間使用的測量檢定標準。常用的干涉儀有邁克爾遜干涉儀、馬赫-曾德爾干涉儀、斐索干涉儀、泰曼-格林干涉儀等；20世紀70年代以后，具有良好抗環境干擾能力的外差干涉儀，如雙頻干涉儀、光纖干涉儀也很快發展起來了。
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