平膜式氣體流量傳感器及其制造方法。它涉及流量傳感器領域，它解決了氣體流量傳感器結構尺寸較大、功耗較高，且不易于批量生產，成本較高的缺點。它的單晶硅片的上下表面分別生成絕緣層，在上部絕緣層上依次生成過渡層和敏感金屬層，并刻蝕為加熱電阻、測溫熱敏電阻和控制電阻并平行。

 

    電極透過覆蓋在單晶硅片上表面的鈍化保護層連接敏感金屬層，單晶硅片底部開有沉槽和矩形導流槽，其開設方向分別平行和垂直電阻刻蝕方向。方法按以下順序依次制作絕緣層、底面腐蝕窗孔、敏感金屬層、金屬薄膜電阻、鈍化保護層、引線孔、電極和截面為杯形的沉槽和矩形導流槽至完成。它提高了傳感器的穩定性和可靠性，具有響應速度快和靈敏度高、功耗低的特點。

 

    傳感器，顧名思義肯定是有傳遞某種信息或者信號的功能。其實很多人不知道傳感器在我們日常生活以及工作中的應用是相當廣泛的，就比如氣體流量傳感器，可以用于火災報警器，具體一點就是一氧化碳傳感器，還有一些超聲波液位傳感器、位置傳感器、電流傳感器、meas壓力傳感器等，那么這些傳感器各自的屬性是什么樣的呢?

 

    1、美國Siargo氣體流量傳感器模塊-FS6122系列特點：

 

    專門為醫療持續正壓通氣(CPAP)應用而設計;直接測量質量流量和相對壓力;緊湊設計，體積小，死腔小，低功耗;響應時間快，可同時提供線性數字信號和模擬信號;

 

    2、英國SSTLPS系列直線位置傳感器-LPS系列特點：

 

    玻璃纖維尼龍傳感器體;10mm電氣行程和彈簧壓載式活塞;機械耐久壽命3,000,000次;公差±20%、磁滯<3.0%;配備回位彈簧500V時絕緣電阻大于10M歐姆;非?？煽?、堅固耐用、使用簡便、長壽命、易于安裝、可靠的技術、輕松定制;

 

    3、美國CRMAGNETICSINC霍爾電流傳感器-CR5411特點：用來提供一個可以按照比例反應電流輸入波形的一種雙極性輸出;這些設備特定的用在一些應用上，比如多模電流檢測;非接觸式電流傳感器，DIN導軌或面板安裝;平均故障間隔時間：100K小時;