Sierra的SmartTrak 100熱質量流量控制器是一款多氣體數字MFC，旨在提供您每次可依靠的平穩，穩定，準確和可重復的氣體質量流量控制。不受上游氣體溫度和壓力波動的影響，Sierra SmartTrak 100的氣體質量流量控制是直接而明確的。SmartTrak已獲得CE認證，可在您的較大流量范圍（高達1000 slpm或更高）下使用，具有各種尺寸，工業防水外殼，工作壓力和溫度以及行業尺寸。

采用熱技術的直接質量流量+/- 0.5％滿量程精度。

多氣體數字質量流量控制器。

50 slpm的占地面積小，非常適合OEM。

主要標準的10點NIST校準。

所有清潔氣體，包括有毒和腐蝕性      

高精度：滿量程的+/- 0.5％

精度：滿量程的+/- 1％

重復性：滿量程的+/- 0.2％

流量范圍從0-10 sccm到0-1000 slpm（nlpm）

更高和更低的流量范圍

壓力至500 psig（34.5 barg）

氣體/環境溫度32°F至122°F（0°C至50 C）                                                           

響應時間：300ms時間常數：2秒（典型值），在終值的±2％之內（包括建立時間），根據要求提供更快或更慢的速度

24 VDC電源

密封件：Viton，Neoprene，Karlez

316不銹鋼結構

包括模擬或數字信號：RS-232，RS-485（多點），0-20、4-20 mA; 0-5、1-5、0-10 VDC

數字通信： 基金會現場總線 和 Modbus RTU