X射線熒光光譜法-----原級(jí)X射線發(fā)射光譜法
首先，與原級(jí)X射線發(fā)射光譜法比,不存在連續(xù)X射線光譜，以散射線為主構(gòu)成的本底強(qiáng)度小,譜峰與本底的對(duì)比度和分析靈敏度顯著提高，操作簡(jiǎn)便，適合于多種類型的固態(tài)和液態(tài)物質(zhì)的測(cè)定，并易于實(shí)現(xiàn)分析過程的自動(dòng)化。樣品在激發(fā)過程中不受破壞，強(qiáng)度測(cè)量的再現(xiàn)性好，以及便于進(jìn)行無損分析等。其次，與原子發(fā)射光譜法相比,除輕元素外，特征（標(biāo)識(shí)）X射線光譜基本上不受化學(xué)鍵的影響，定量分析中的基體吸收和增強(qiáng)效應(yīng)較易校正或克服，譜線簡(jiǎn)單，互相干擾比較少，且易校正或排除。

X 射線熒光光譜法可用于冶金、地質(zhì)、化工、機(jī)械、石油、建材等工業(yè)部門，以及物理、化學(xué)、生物、地學(xué)、環(huán)境科學(xué)、考古學(xué)等。還可用于測(cè)定涂層和金屬薄膜的厚度和組成以及動(dòng)態(tài)分析等。

在常規(guī)分析和某些特殊分析方面，包括工業(yè)上的開環(huán)單機(jī)控制和閉環(huán)聯(lián)機(jī)控制，本法均能發(fā)揮重大作用。分析范圍包括原子序數(shù)Z≥3（鋰）的所有元素，常規(guī)分析一般用于Z≥9（氟）的元素。分析靈敏度隨儀器條件、分析對(duì)象和待測(cè)元素而異，新型儀器的檢出限一般可達(dá)10-5～10-6克／克；在比較有利的條件下，對(duì)許多元素也可以測(cè)到10-7～10-9克/克（或10-7～10-9克／厘米3）,而采用質(zhì)子激發(fā)的方法，其靈敏度更高，檢出限有時(shí)可達(dá)10-12克／克（對(duì)Z＞15的元素）。至于常量元素的測(cè)定，X射線熒光分析法的迅速和準(zhǔn)確,是許多其他儀器分析方法難與相比的。

隨著大功率 X射線管和同步輻射源的應(yīng)用、各種高分辨率 X射線分光計(jì)的出現(xiàn)、計(jì)算機(jī)在數(shù)據(jù)處理方面的廣泛應(yīng)用，以及固體物理和量子化學(xué)理論計(jì)算方法的進(jìn)步,通過X射線光譜的精細(xì)結(jié)構(gòu)（包括譜線的位移、寬度和形狀的變化等）來研究物質(zhì)中原子的種類及基的本質(zhì)、氧化數(shù)、配位數(shù)、化合價(jià)、離子電荷、電負(fù)性和化學(xué)鍵等，已經(jīng)取得了許多其他手段難以取得的重要結(jié)構(gòu)信息，在某些方面（例如配位數(shù)的測(cè)定等）甚至已經(jīng)得到非常滿意的定量結(jié)果。這種研究方法具有不破壞樣品、本底低、適應(yīng)范圍廣、操作簡(jiǎn)便等優(yōu)點(diǎn)，不僅適用于晶體物質(zhì)研究，而且對(duì)于無定形固體物質(zhì)、溶液和非單原子氣體也可以發(fā)揮其的作用，可以解決X 射線衍射法和其他光譜、波譜技術(shù)所不能解決的一些重要難題。